软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)
软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了*的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的*能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。
0.3eV(费米边处Al-L基准)的*能量分辨率 开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分佈图 |  |
 | SXES具有很高的能量分辨率 各种分光方法中氮化钛样品的谱图，即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。 |
锂离子二次电池（LIB）分析实例 能观察到LIB的充电量 |  |
 | 充满电后Li-K样品的谱图 说明: 由于理论上的原因，氧化锂的检测很困难 |
轻元素的测试实例 SXES测试碳素化合物的实例 可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。 |  |
 | 各种氮素化合物的测试实例 氮素也可以根据波形分析化学结合状态。 硝酸盐和氮化物的波形*不同，还能观察到易受电子束损伤的铵盐的*波形。 |
软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer) 产品规格
能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）
获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV
获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV
分光谱仪艙安装位置：
EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）
FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）
分光谱仪尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 从接口包括CCD的距离
分光谱仪重量 25kg
适用机型
EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F
