总预算高达13.8亿元！某单位大规模采购科研仪器设备-化工仪器网-手机版

　　近期，zycgr21070801发布多项仪器设备采购意向，计划采购高精度波长计、三坐标检测仪、化学机械研磨系统、感应耦合等离子体多腔刻蚀设备、电感耦合等离子体化学气相沉积系统、全自动匀胶显影系统、测厚仪(白光干涉仪)、X-RAY检测仪等仪器设备，总预算高达138158.56万元。预计采购时间2026年8月~10月。

　　采购意向只是政府采购的初步安排，具体采购情况以zycgr21070801发布的采购公告和采购文件为准，有意向的企业可持续关注其发布的招标信息。

zycgr21070801仪器设备采购意向汇总

序号	采购项目名称	预算金额 (万元)	预计采购日期
1	2.7um连续可调激光器	600	2026年8月
2	高精度波长计	145
3	干涉仪	149
4	主被动隔振平台	130
5	自动锲焊机	126
6	临时键合、解键合系统	15000
7	低温铟蒸发系统	1177.44
8	2 um 激光器	110
9	高精度波长计	120
10	2.7um连续可调激光器	600
11	低相噪微波信号发生器	654.93
12	三轴高速加工机床	777.3
13	氩离子抛光机	190
14	EDS检测机	238.6
15	三坐标检测仪	120
16	激光焊接机	154
17	激光辅助刻蚀	385
18	化学机械研磨系统	8400
19	封装键合系统	200
20	全自动单片湿法清洗及刻蚀系统	6160
21	隔离化学机械研磨机（CMP)	4385.2
22	自动光学检测设备	2800
23	热成像线路全局检测系统	600
24	无损探针台	2000
25	激光修复与退火仪器	1500
26	切片机	300
27	FC贴片机器	2645
28	自动激光打标系统	200
29	片盒清洗系统	500
30	晶圆研磨机	2820
31	感应耦合等离子体多腔刻蚀设备	9694
32	自动干法去胶系统	1500
33	反应离子刻蚀机(RIE)	3462
34	湿法刻蚀机	1661
35	单用途刻蚀机	4722
36	原子层沉积系统	5385
37	电感耦合等离子体化学气相沉积系统(ICPPECVD)	5250
38	多腔体级联薄膜生长系统	6470.75
39	超高真空多腔室超导薄膜磁控溅射系统	3500
40	低温铟蒸发系统	1650
41	低气压等离子体增强化学气相沉积系统	1750
42	隔离原子层沉积系统	1403.9
43	电镀/阳极氧化系统	1800
44	全自动匀胶显影系统	4800
45	干涉仪	400
46	光学平台	140
47	示波器	112
48	高精度平移台	192
49	光纤激光放大器	148.8
50	自动耦合系统	398.8
51	电光调制器	250
52	低振动低温制冷机&低温恒温器	253.88
53	激光器	640
54	高速贴片机	120
55	三轴加工机床	130
56	离子迁移测试机	109.8
57	AVI外观检查机	255.75
58	水平连续填孔镀铜线	800
59	氮气烤箱	110
60	覆盖膜贴合机	115
61	水平沉铜线	243.33
62	除胶线	105.24
63	测厚仪（白光干涉仪）	230
64	RTR双面压膜机	126
65	覆盖膜前处理线（RTR）	150
66	外层显影蚀刻连退膜线	224
67	黑影线	182
68	内层显影蚀刻连退膜线	144
69	矢量网络分析仪	179.4
70	X-RAY检测仪	148
71	传压机	450
72	棕化线和对应设备控制软件	120
73	4K探针测试台	122.7
74	7位半高精度电源	113.4
75	8位半高精度万用表	234
76	高速探杆	589.4
77	杜瓦罐	240
78	稀释制冷机	679.04
79	量子处理器测控电路	1437.2
80	5GHz实时示波器	290
81	13GHz实时示波器	104
82	网络分析仪	178.22
83	40G微波源	276.5
84	4K闭环真空探针台	122.7
85	脉管制冷4K测试台	483.5
86	二次电源、离子泵驱动与光电倍增模块	1440	2026年9月
87	130nm SOI CMOS NTO流片	178
88	射频放大器	450
89	合路器	250
90	互联线缆	200
91	滤波器	240
92	通信模块	400
93	测控系统(100比特)	1437.2
94	一体化测控SIP	1350
95	稀释制冷机	12345.18
96	脉管制冷机	193.4
97	28nm工程批流片	1200
98	MPW流片	450
99	高速高幅度脉冲驱动芯片	200
100	光谱放大模块	240	2026年10月
合计		138158.56
来源：中国政府采购网整理：化工仪器网

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