10月21日至23日，CHInano 2026第十六届国际纳米技术产业博览会(简称“纳博会”)在苏州国际博览中心举办。作为纳米技术领域具有国际影响力的综合性专业盛会，本届纳博会以2.6万平方米展区规模、350余家参展企业及570余位演讲嘉宾的阵容，成为行业备受关注的年度活动。多场低温科技(北京)有限公司(以下简称“多场科技”)携全环境压电超精密运动控制技术及系列产品亮相本届纳博会，面向半导体、精密光学、精密仪器、工业自动化等领域展示纳米级运动控制与物性表征解决方案。
专注全环境压电超精密运动控制
多场科技于2017年正式运营，是国家高新技术企业、国家专精特新“小巨人”企业。公司致力于全环境压电超精密运动控制技术以及产品的开发与推广，目前已形成具有先进技术水平的全环境纳米运动控制产品集群、模块化的全品类超精密运动控制产品，以及涵盖力、热、声、光、电全方面的物性表征系列产品，并推出融合多场先进技术的综合物性表征平台等整体化解决方案。
多场科技展位现场
多场科技的产品体系主要包括：低温强磁场下的电学、热学、光学和磁学等物性测试系统；纳米级自动化解决方案，覆盖全环境全品类纳米分辨率压电位移台、亚纳米级电容式位置传感、皮米级多通道激光干涉测距仪、精密光学自动化等；以及极低温低振动物性表征平台。公司面向半导体、精密光学、精密仪器、工业自动化等领域，着力打造超精密运动领域一体化集成式解决方案。
三大核心产品覆盖纳米级运动控制关键环节
本届纳博会上，多场科技重点展示的纳米级压电陶瓷位移台、电容位置传感器和多通道激光干涉仪，覆盖精密运动控制、位置测量与实时反馈等关键环节。
纳米级压电陶瓷位移台
纳米级压电陶瓷位移台包含线性、偏摆、旋转、多轴串联、多轴并联、亚纳米高速扫描等全品类全环境压电位移台，可实现纳米级/亚纳米级高精度运动控制，支持超高真空、完全无磁及极低温等特殊环境工作，并可满足大负载、长行程、高速等定制需求，应用于半导体光刻、键合、量测、检测等环节。
电容位置传感器
电容位置传感器具备亚纳米级空间分辨率，支持50 kSa/s高速数据采集和高速通讯；量程覆盖0.2—3 mm，多种探头形式可选，支持超高真空、完全无磁及极低温等特殊环境工作，应用于精密测量定位、半导体键合、量测、检测等环节。
多通道激光干涉仪
多通道激光干涉仪可实现皮米级高速测距，工作距离0—10 m，最大目标速度3.8 m/s；单台配备3个测量通道，可独立测量3个线性运动自由度；多探头形式可选，支持超高真空、完全无磁等特殊使用环境，应用于半导体光刻、量测等环节中的精密定位实时位置反馈。
以一体化解决方案支撑产业技术突破
多场科技坚持创新、稳扎稳打，广泛开展合作，积极拓展业务范围。公司围绕全环境压电超精密运动控制技术，持续完善产品集群和整体化解决方案，帮助客户更高效地推动技术发展。在国内工业升级、芯片自主化等大趋势下，多场科技正以全环境纳米运动控制、亚纳米级位置传感和皮米级激光干涉测量等产品能力，为相关行业和领域突破“卡脖子”问题提供技术支撑。
作者：杨
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