第十六届国际纳米技术产业博览会(简称“纳博会”)于10月21-23日在苏州国际博览中心举行。本届展会展区面积2.6万平方米，汇聚国内外350余家企业，覆盖纳米新材料、微纳制造、第三代半导体、纳米压印、纳米大健康、能源与清洁技术、纳米生物技术等产业领域。 
第四代Film Sense多波长椭偏仪
展位
作为一家专注于精密薄膜测量领域，为半导体、面板等高科技企业和高校及研发中心提供精密测量设备与解决方案的技术公司，优尼康科技有限公司(以下简称优尼康)成立于2012年，在香港、上海、东莞、天津、成都和苏州设有分支机构或办公室。从成立伊始公司秉承“真诚，专注，信赖"的理念，用真诚的态度与行动服务客户。
优尼康专注于为客户提供好品质、适合用户需求的产品。本次展会上，重点展示了第四代Film Sense多波长椭偏仪和F50薄膜厚度测量仪。
优尼康专注于为客户提供好品质、适合用户需求的产品。本次展会上，重点展示了第四代Film Sense多波长椭偏仪和F50薄膜厚度测量仪。
第四代Film Sense多波长椭偏仪
第四代Film Sense多波长椭偏仪
第四代Film Sense多波长椭偏仪系统增加了FS-8型号的波长和光谱范围，从而进一步增强了在各种薄膜应用中的测量能力。Film Sense多波长椭偏仪使用寿命长的LED和无移动部件的椭圆偏振探测器在便于使用的紧凑型系统中提供快速而可靠的薄膜测量。
通过简单的1秒测量，可以以极高的精度和精度测定大多数透明薄膜的薄膜厚度和折射率，并对许多样品进行光学常数等薄膜性质的测量。多波长椭偏仪提供了强大的薄膜测量功能，非常适合在研究实验室，教室，现场处理室，工业质量控制等领域的应用。
主要特点：多个LED光源(4或8个，波长370-950nm，视系统而定)；一体化设计，椭偏仪探测器中无可移动部件；具有良好的厚度精度，对多个样品的厚度精度优于0.0004 nm(1秒钟/次)；可通过现代计算机，笔记本电脑或平板电脑Web浏览器界面直接访访问软件页面，用于仪器控制和数据分析。寿命长(>50000小时) 没有耗时的对准或PM程序；快速测量时间(10ms内的多波长数据)和长期可靠性；没有复杂的软件设置和维护；无外部电子设备盒或光纤连接。
F50薄膜厚度测量仪
F50薄膜厚度测量仪
F50薄膜厚度测量仪
F50薄膜厚度测量仪采用嵌入式在线诊断方式，免费离线分析软件，精细的历史数据功能，帮助客户有效地存储、重现与绘制测试结果。几乎可以适用于所有光滑的，非金属的薄膜，如：氧化硅、氮化硅、类金刚石镀膜、多晶硅、光刻胶、高分子材料、聚酰亚胺、非晶硅。
依靠F50特殊的光谱测量系统，可以简单快速地获得最大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图；采用极坐标移动平台，可以非常快速地定位所需测试的点并且实时获得测试厚度，大约每秒能测试两点；F50系统配置高精度长寿命的移动平台，力求实现上百万次的测量；系统中预设了许多极坐标形、矩形和线性的图形模式，且支持用户自定义测量点位图；用户只需掌握基本的电脑技巧便可在几分钟内存储建立自己需要的测量点位图。
本届纳博会上，优尼康通过第四代Film Sense多波长椭偏仪与F50薄膜厚度测量仪的展示，集中呈现了其在精密薄膜测量领域的技术积累与产品实力。从亚单层膜厚度精度到450毫米样品的快速厚度分布测量，从实验室研究到工业质量控制，优尼康正以“真诚，专注，信赖”的理念，为半导体、面板等行业客户及高校研发中心提供更贴合需求的测量解决方案。未来，随着纳米技术与半导体产业的持续演进，优尼康有望在精密薄膜测量赛道中发挥更加积极的作用。
