FEMTO 等离子清洗机
- 型号：
- FEMTO
- 品牌：
- Diener
- 价格：
- ￥60000元
- 供应商：
- 北京中兴百瑞技术有限公司
- 产商性质：
- 经销商
- 联系人：
- 吴凯
- 手机：
- 电话：
- 传真：
- 86-010-62520563
- 地址：
- 德国
新品介绍
上市时间：2016/12/2 0:00:00
创新点：整体外观的全新包装。
在离子发生器上醉了的优化；
增加客户定制气到，可增加3-4个气到；
*~折上再送培训售后
产品简介
1、用于清洗：几乎所有的材料都能使用等离子进行精密清洗。
2、用于表面激活：几乎所有的材料都能通过等离子被激活。
3、用于蚀刻：塑料、半导体、玻璃。
4、用于涂层：所有的工业材料、金属、玻璃、陶瓷。
详细信息
德国Diener electronic成立于1993年，是世界低温等离子工业的*，是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气（常压）等离子清洗机的高科技企业。
用途：
Diener可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点，主要适合于高科技生产单位的以下场合：
半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、生命科学实验等等。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有以下特点：
可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序；不会对操作人员的身体造成任何伤害；其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
产品型号：Femto
控制系统：半自动型
PCCE控制系统 (Microsoft Windows CE)、PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
体积：1.9~6L
真空腔室：圆形不锈钢件，配有盖子（大约 Φ 100 mm, 长 278 mm 或者长 600 mm）
矩形不锈钢件，配有铰链的门（约宽 103 x 深 285 x 高 103)、
配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门（大约Φ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm）
配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门（大约 Φ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm）
配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门（大约Φ 95 mm，长 280 mm 或者长 600 mm）
电极：单层或多层RIE
样品支架：选项：（水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
气源：针型阀、质量流量控制器 (MFCs)
压力计：Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本）
计时器：数字型
高频电流发生器：40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W /
13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W
12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W
所有发生器均为 0 - * 无级可调型
真空泵：KASHIYAMA
电源：供电电源： 台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位