VK-X3000系列 基恩士 形状测量激光显微系统
- 型号：
- VK-X3000系列
- 品牌：
- KEYENCE/基恩士
- 价格：
- 面议
- 供应商：
- 基恩士（中国）有限公司
- 产商性质：
- 生产厂家
- 联系人：
- 王女士
- 手机：
- 电话：
- 传真：
- 86-021-50587178
- 地址：
- 日本
新品介绍
上市时间：2022/3/1 0:00:00
创新点：VK-X3000创新点：①扫描方式升级：上一代VK-X1000系列有两种扫描方式（聚焦变化、激光共聚焦），新一代VK-X3000系列升级为三种扫描方式（聚焦变化、激光共聚焦、白光干涉），可以根据样品工件的材料、形状和测量范围选择适合的扫描方式，进行高精度测量。扫描方式升级，最高分辨率由以前的0.5nm提升至0.01nm，微小形状也能准确获取，支持难以扫描的透明体和镜面体。②配件升级：VK-X1000系列配备的是0.5nm线性标尺，VK-X3000系列升级为0.1nm线性标尺。配备高精度线性标尺，以0.1nm的高分辨率识别物镜的Z位置，从而实现更加细微的凹凸检测。③增加CAD比较测量功能。
产品简介
搭载白光干涉功能 ，纳米/微米/毫米一台即可完成测量
超越激光显微镜的限制，以三重扫描方式应对
•一台即可测量纳米/ 微米/ 毫米
•一台即可了解希望获取的信息
•纳米级分辨率
详细信息
基恩士 形状测量激光显微系统 VK-X3000系列
产品外观
产品特性
采用了三重扫描方式，运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的细微粗糙度，
以及镜面体，透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力（从 1 nm 到 50 mm），纳米/微米/毫米一台完成测量。
1、Basic Characteristics
观察
从光学显微镜到SEM领域一台设备涵盖
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42 至 28800 倍
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无需对焦
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适用于多种样品
测量
非接触瞬间扫描形状
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不会损伤目标物
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纳米级别也可准确测量
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透明体和坡度大的目标物也可测量
分析
希望了解的表面“差异”一目了然
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定量化微小形状
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轻松比较多个样品
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粗糙度分析
2、三重扫描方式解决“难以测量”的难题
可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。
3、纳米级分辨率
即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。
此外，如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。
4、连高度差较大的凹凸处和大范围区域也能测量
扫描区域50 mm见方。
凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。
只需一台设备，即可同时掌握整体形状和局部形状。
5、精确测量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。
适用于各种目标物的测量能力
测量案例
Si 晶片背面 │ 3000 倍
表面粗糙度测量
MEMS │ 2 mm × 2 mm
提供：Matthieu Denoual 博士（GREYC/CNRS, ENSI de Caen,France）与东京大学研究生院三田吉郎研究室
相机卡口部端子 │ 30 mm × 12 mm
端子的形状测量
基恩士 形状测量激光显微系统 VK-X3000系列
除上述应用外，在其他行业也应用广泛。
如果想了解更多信息可留言或电话咨询，我们将竭诚为您服务。