产品介绍:
四探针电阻率测试仪是按ASTM F84硅片电阻率测量的要求,用于对硅材料电阻率的测量。
规格参数:
双数字表:一个数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一个数字表监测过程中的电流变化。
电压量程:0-199.9mV
基本误差:±(0.4-0.5%读数+0.1%)
灵敏度:100μV
输入阻抗:1000ΜΩ
电阻率范围:10-³~1.9×10³Ω·cm
方块电阻范围:10-² ~1.9×10^4Ω/□
具有电压表自动复零功能,当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时,电压表指零,1、4探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表指示2、3探针间的电压(即电阻率)值。
测量精度:<3%
电流量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA五档
采用触点电阻<5mΩ的转换开头及继电器(>10%)