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南京先欧XO-DLZ-1000W微波等离子体材料反应系统
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南京先欧仪器制造有限公司坐落于南京新港经济技术开发区，是一家由高层次人才组成、富于创新精神，致力于超声波、微波、温度控制系列产品的研发生产销售为一体的综合性企业。公司始终坚持以科技创新为企业生命核心，推行现代化管理，施行紧密接受管理部门指导，与高校、研究所紧密结合的政产学研模式。
公司拥有专业技术人才，包括原国营第七七二厂微波研究所资深研究员、超声化学专家、超低温制冷专家等专业人才构成的研发团队，开发出XO-SM系列超声波微波紫外光组合反应系统，微波高温气氛烧结炉（实现高温区域搅拌旋转）、-120℃超低温检定槽，并获得省部级等多项科技奖励，获得国家和省市级科技奖励5项，2013年南京市科技进步三等奖，2015年江苏省科技进步二等奖、2015年南京市科技进步三等奖、2016年度南京市发明奖，2017年度中国商业联合会科技进步二等奖等荣誉。
公司产品遍布全国各大科研院校，创新结论在国内外核心期刊发表，并获学术界的广泛认可，其中2013年*上海硅酸盐研究所采用本公司生产的超声波微波组合反应系统，在材料科学领域的期刊Small（IF=7.823）上发表高水平论文“Multilevel Hierarchically Ordered Artificial Biomineral（DOI: 10.1002/smll.201301633）”, 充分肯定了我司在超声场/微波场/热力场等多物理场高效协同技术及其设备的开发与应用方面的研究。此外，公司一系列产品以其技术的性、产品的性得到了国内外仪器、装备领域的广泛认可。我司将继续专注于超声场/微波场/热力场等多物理场领域的技术创新，深化产学研合作，聚力推动协同创新。
详细信息
制造商：南京先欧仪器制造有限公司
XO-DLZ-1000W微波等离子体材料反应系统
简介：科学研究表明微波等离子体具有无电极、大面（体）积、低能耗、高效率和低成本等多种优点，比之其它电激励类型的等离子体有更高的活性。微波等离子体的运行气压很宽，从10-3Pa（微波ECR等离子体）到超过大气压（微波等离子体炬）。并且装置的等离子体发生室和处理室可分可合，工艺的灵活性大。无电极放电避免了等离子体对处理物的损伤。所以微波等离子体有着广泛的应用，特别适用于新材料（包括薄膜，纤维，粉末以及高性能复合材料等）的制备，金属制品的表面强化和防腐蚀，纺织品的后整理，高聚物聚合及其表面改性，微电子器件及高功率电子器件和光电子器件的制造，纳米材料的制备和器件的开发，高效照明光源和紫外光源的开发，有毒有害气体的分解净化及其它三废处理等多个工业技术领域。例如微电子器件的等离子体加工工艺绝大部分都是用微波等离子体设备来实现的。光学级和微电子级的金刚石薄膜通常也是用微波等离子体化学气相沉积工艺来制备的。光纤的制造和平面光波导器件加工也是用微波等离子体技术来实现的。等等。微波等离子体在高技术产品的等离子体加工技术中将越来越起到主导作用。
参数表：
1、等离子体发生室与样品处理室分开，均为不锈钢腔体。
2、样品处理室ф262（内径）×165（高），左、右侧及前门上各有一个（共3个）ф90观察窗，样品装卸门146（宽）×68（高），内有ф120 （直径）水平样品台，样品台面离样品处理室底面高度两级可调节27-57-87。
3、等离子体发生室ф144（内径）×96（高）处于样品处理室之上。
4、两路气体输入，在等离子体发生室顶部中心输入工作气体，可用氮气、氧气、氦气等常用气体。
5、微波发生器由带有水冷磁控管的激励腔和微波源供电电源组成。微波频率2.45GHz。
6、微波功率0－1000W连续可调。带有微波输出功率显示（精确至1W）和数字指示。可长时间连续工作。
7、装置常规采用380V三相电源。
8、自带冷却水循环系统形成冷却水. 制冷系统可保证冷却水温度在30度以下, 无水源要求.
9、真空度数字显示，精确至1Pa。
10、气体流量在较大范围可调并显示（精确至0.01L/min）。
11、无电极放电，避免放电污染，能量转换效率高。
