FMA-A2213 FMA-A2214流量计 美国omega气体质量流量计

气体质量流量计和控制器可选配一体式显示屏，用于测量洁净气体
FMA-A2000系列

气体质量流量计和控制器可选配一体式显示屏，用于测量洁净气体
FMA-A2000系列:气体质量流量计和控制器可选配一体式显示屏，用于测量洁净气体

精度为±1%
线性模拟输出
成本低
采用热感技术
可测量高达100 SLM的流量
内含电源

FMA-A2000系列电子质量流量计／控制器性能出众、 功能多样、设计*、外形紧凑。
FMA-A2000利用毛细管式热感技术直接测量气体的质量流量。
无需进行温度、压力或平方根校正。
FMA-A2300／2400系列配备LCD显示屏，并且所有型号都提供线性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA输出。
FMA-A2000测量0 ~ 100 SLM之间24个量程的气体质 量流量。要查看完整列表，请参阅下一页的量程表。
FMA-A2000系列与大部分非腐蚀性气体相容。建议用户对照气体相容性检查接液材料。

OMEGA的质量流量控制器利用内部电磁比例阀控制质量流量。
可以通过内部电位器设定值或者通过0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信号。

规格:
精度： 满量程的±1%（包括线性度）
重复性： 满量程的±0.15%或者更佳
量程比： 100:1
响应时间： 5秒
气体环境温度： 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
温度系数： 每1°C为满量程的0.05%或更佳
压力系数： 每psi为满量程的0.01%或更佳
zui低压力要求：
流量计： 1英寸水柱
zui大流速为1 SLM的控制器： 1 psi
流速大于20 SLM的控制器： 20 psi
质量流量控制器的压差： <5 LPM，5 ~ 50 psi（标准）
>5 LPM，20 ~ 40 psi（标准）
气体zui大压力：
聚甲醛： 250 psig
316不锈钢： 500 psig
泄漏完整性： 1 x10-6 cc/min氦气或更佳
接液部件：
标配： 聚甲醛、氟橡胶O形圈
选配： 316不锈钢、氟橡胶O形圈
连接口： ¼ FNPT（标配）；
¼"压合接头（适用于所有不锈钢型号流量计）
输入／输出连接口： 9针sub-D连接器
控制信号： 0 ~ 5 Vdc
控制阀： 常闭电磁阀
输出信号： 线性0 ~ 5 Vdc（zui小负载1000 Ω），4 ~ 20 mA（环路电阻500 Ω）
安装螺纹：
316不锈钢壳体： 6⁄32"螺纹
聚甲醛材料： #4/6自攻螺丝
输入电源：
流量计： 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac（带交流适配器）
控制器： 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac（带交流适配器）
外形尺寸： 参见图纸
重量： 1.25 kg (2.75 lb)（含电源）

产品型号/产品描述

聚甲醛质量流量计，不带显示屏

FMA-A2100 0到10 SCCM

FMA-A2101 0到20SCCM

FMA-A2102 0到50SCCM

FMA-A2103 0到100SCCM

FMA-A2104 0到200SCCM

FMA-A2105 0到500SCCM

FMA-A2107 0到2SLM

FMA-A2108 0到5SLM

FMA-A2109 0到10SLM

FMA-A2117 0到50SLM

FMA-A2118 0到55的SLM

FMA-A2119 0到60SLM

FMA-A2120 0到65SLM

FMA-A2121 0到70SLM

FMA-A2122 0到75SLM

FMA-A2123 0到100SLM


聚甲醛质量流量控制器，不带显示屏

FMA-A2200-(**) 0到10 SCCM

FMA-A2201-(**) 0到20SCCM

FMA-A2202-(**) 0到50SCCM

FMA-A2203-(**) 0到100SCCM

FMA-A2204-(**) 0到200SCCM

FMA-A2205-(**) 0到500的SCCM

FMA-A2206-(**) 0到1SLM

FMA-A2207-(**) 0到2SLM

FMA-A2208-(**) 0到5SLM

FMA-A2209-(**) 0到10SLM

FMA-A2210-(**) 0到15SLM

FMA-A2211-(**) 0到20SLM

FMA-A2212-(**) 0到25SLM

FMA-A2213-(**) 0到30SLM

FMA-A2214-(**) 0到35SLM

FMA-A2215-(**) 0到40SLM

FMA-A2216-(**) 0到45SLM

FMA-A2217-(**) 0到50SLM


不锈钢质量流量控制器，不带显示器

FMA-A2200-SS-(**) 0到10SCCM

FMA-A2201-SS-(**) 0到20SCCM

FMA-A2202-SS-(**) 0到50SCCM

FMA-A2203-SS-(**) 0到100SCCM

FMA-A2204-SS-(**) 0到200SCCM

FMA-A2205-SS-(**) 0到500SCCM

FMA-A2206-SS-(**) 0到1SLM

FMA-A2207-SS-(**) 0到2SLM

FMA-A2208-SS-(**) 0到5SLM

FMA-A2209-SS-(**) 0到10SLM

FMA-A2210-SS-(**) 0到15SLM

FMA-A2211-SS-(**) 0到20SLM

FMA-A2212-SS-(**) 0到25的SLM

FMA-A2213-SS-(**) 0到30SLM

FMA-A2214-SS-(**) 0到35SLM

FMA-A2215-SS-(**) 0到40SLM

FMA-A2216-SS-(**) 0到45的SLM

FMA-A2217-SS-(**) 0到50的SLM


聚甲醛质量流量计，带显示屏

FMA-A2300 0到10SCCM

FMA-A2301 0到20SCCM

FMA-A2302 0到50SCCM

FMA-A2303 0到100SCCM

FMA-A2304 0到200SCCM

FMA-A2305 0到500SCCM

FMA-A2306 0到1SLM

FMA-A2307 0到2的SLM

FMA-A2308 0到5的SLM

FMA-A2309 0到10SLM

FMA-A2317 0到50SLM

FMA-A2318 0到55SLM

FMA-A2319 0到60SLM

FMA-A2320 0到65SLM

FMA-A2321 0到70SLM

FMA-A2322 0到75SLM

FMA-A2323 0到100SLM


聚甲醛的质量流量控制器，带显示屏

FMA-A2400-(**) 0到10SCCM

FMA-A2401-(**) 0到20SCCM

FMA-A2402-(**) 0到50SCCM

FMA-A2403-(**) 0到100SCCM

FMA-A2404-(**) 0到200SCCM

FMA-A2405-(**) 0到500SCCM

FMA-A2406-(**) 0到1SLM

FMA-A2407-(**) 0到2SLM

FMA-A2408-(**) 0到5SLM

FMA-A2409-(**) 0到10SLM

FMA-A2410-(**) 0到15SLM

FMA-A2411-(**) 0到20SLM

FMA-A2412-(**) 0到25SLM

FMA-A2413-(**) 0到30SLM

FMA-A2414-(**) 0到35的SLM

FMA-A2415-(**) 0到40SLM

FMA-A2416-(**) 0到45SLM

FMA-A2417-(**) 0到50SLM


不锈钢质量流量控制器，带显示屏

FMA-A2400-SS-(**) 0到10SCCM

FMA-A2401-SS-(**) 0到20SCCM

FMA-A2402-SS-(**) 0到50SCCM

FMA-A2403-SS-(**) 0到100SCCM

FMA-A2404-SS-(**) 0到200SCCM

FMA-A2405-SS-(**) 0到500SCCM

FMA-A2406-SS-(**) 0到1SLM

FMA-A2407-SS-(**) 0到2SLM

FMA-A2408-SS-(**) 0到5SLM

FMA-A2409-SS-(**) 0到10SLM

FMA-A2410-SS-(**) 0到15SLM

FMA-A2411-SS-(**) 0到20SLM

FMA-A2412-SS-(**) 0到25SLM

FMA-A2413-SS-(**) 0到30SLM

FMA-A2414-SS-(**) 0到35SLM

FMA-A2415-SS(**) 0到40SLM

FMA-A2416-SS-(**) 0到45SLM

FMA-A2417-SS-(**) 0到50SLM


配件

FMA-200PWA 备用插座式插接电源（90 ~ 260 Vac）
 

注释: 配备操作手册、9针sub-D连接器、电源及NIST校准（无数据点）。

欲购可选316不锈钢壳体仪表，请将后缀"-SS"添加到型号中（需付额外费用）（¼"压合接头为标配）。对于FMA-A22与FMA-A24控制器，不锈钢壳体是标配。
注：所有的控制器流量范围均针对20 psig时的氮气或空气；在用于其它气体时，需要使用相关系数确定流量。
** 气体、入口／出口压力和温度。
要获得5测量点NIST校准证书，请将后缀"-NIST5"添加到型号中（无额外费用）。
要获得10测量点NIST校准证书，请将后缀"-NIST10"添加到型号（需付额外费用）。

产品型号说明
(1) (2) (3) (4)
FMA-
选项描述
(1) 型号代码
选择
A21 代表 不带显示器的质量流量计
A22 代表 有控制阀的质量流量控制器
A23 代表 带显示屏的质量流量计
A24 代表 有显示和控制阀的质量流量控制器
(2) 量程代码
选择
00 代表 0-10 SCCM
01 代表 0-20 SCCM
02 代表 0-50 SCCM
03 代表 0-100 SCCM
04 代表 0-200 SCCM
05 代表 0-500 SCCM
06 代表 0-1 SLM
07 代表 0-2 SLM
08 代表 0-5 SLM
09 代表 0-10 SLM
10 代表 0-15 SLM
11 代表 0-20 SLM
12 代表 0-25 SLM
13 代表 0-30 SLM
14 代表 0-35 SLM
15 代表 0-40 SLM
16 代表 0-45 SLM
17 代表 0-50 SLM
18 代表 0-55 SLM
19 代表 0-60 SLM
20 代表 0-65 SLM
21 代表 0-70 SLM
22 代表 0-75 SLM
23 代表 0-100 SLM
(3) 可选316不锈钢阀体
选择
Nothing(leave field blank) 代表 标准体材料
-SS 代表 可选316不锈钢阀体
(4) 型号代码
选择
Nothing(leave field blank) 代表 在20 psig的标准模型的氮气或空气
(**) 代表 进气口/出口压力温度