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起订量：
EQP 等离子体质量和能量分析仪
- 型号
- EQP
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20年专注引进世界科研仪器。
英格海德分析技术有限公司（Extratech Analytical Ltd.)）是世界分析仪器制造商在中国的总代理。公司携手北京英格海德分析技术有限公司开展销售/市场推广及售后服务，打造优良的企业形象。多年来，我们在客户中建立了良好的声誉。我们的客户多数都是工作在新技术研究的前沿，如催化化学、氢能研究、等离子体物理、表面科学、大气环境监测、半导体材料和微纳米测量领域。我们与他们保持着密切的、积极的关系。 我们在为客户提供有价值的仪器设备的同时，还为他们提供了及时周到的售后服务，让用户无后顾之忧，使其专心科研。
公司主营质谱仪、智能重量分析仪、高压气体吸附仪、催化剂表征系统、等离子体诊断设备、在线VOC分析质谱仪、导热系数分析仪、在线气体质谱仪、质子转移反应质谱仪、等离子体蚀刻探针和材料加工分析仪器等。
详细信息
Hiden EQP 等离子体质量和能量分析仪应用：
· 刻蚀 / 沉积作用研究
· 离子植入 / 激光烧蚀
· 残余气体分析 / 泄漏检测
· 等离子体电极耦合，即在操作中遵从电极设定条件
· 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析
Hiden EQP 等离子体质量和能量分析仪特点：
1、软件控制的离子汲取光学系统，以使等离子体扰动z小
2、45°静电扇区分析器，扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
3、所有能量范围内，离子行程的z小扰动，及恒定离子传输
4、带差式泵的三级过滤四极杆，质量数范围至2500amu
5、高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器，有7个数量级的动态范围
6、可调谐的离子源，用于电子附着选件的表观电势质谱分析
7、Penning规和互锁装置可提供过压保护
8、信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化
9、1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体
10、Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
11、通过RS232、RS485或Ethernet LAN，控制软件MASsoft。
