主要用途：
◆  粗糙和光滑表面的测量和显示
◆  亚微米范围内的微观形貌测量
◆  金相测量
◆  非接触式表面轮廓的计量

主要特点
◆  0,1mm2到0,7mm2视场
◆  采用钉合方式扩大视场
◆  配置物镜切换盘
◆  确定垂直分辨率来设定测量时间
◆  横向分辨率可达1祄，垂直分辨率zui高可到5 nm 
◆  具有采用微透镜扫描盘的快速光学系统
◆  全自动数据评估
◆  实验室和在线两用设计

主要优点：
◆  高保真轮廓复现，对物体三维结构快速，非接触式的定性和量化
◆  测量结果与材料表面性能无关
◆  根据用户需求配置系统和软件
◆  无人干预全自动测量过程
◆  将微透镜扫描盘自动伸出后可作为普通的显微物镜使用
◆  采用压电驱动或步进电机进行垂直扫描

软件:
◆  Windows XP 操作系统
◆  测量和评估软件包括下列功能：  水平调整，图像缩放， 轮廓线的提取，毛刺的剔除， 过滤，  数学计算，FFT，ACF，2D/3D 粗糙度参数，面积的测定， 斜度和波度的分布状态及其它。 
◆  用户特定要求的计算方法

技术数据：