ICP等离子体光谱仪可对72种金属元素和部分非金属元素（如B,P,Si,Se,Te）进行分析.广泛应用于稀土分析、贵金属分析、合金材料、电子产品、石油、化工、商检、环保等部门和钕铁硼、硅、硅铁、钨、钼等领域需要检测元素的定量分析及各种高纯材料的杂质成份分析.仪器性能达到JJG768-2005A类标准（中华人民共和国国家发射光谱仪计量检定规程）,综合性能达到同类仪器的*水平.

ICP等离子体光谱仪的光学系统
1，单色仪
       ICP等离子体光谱仪采用焦矩为1米的Czerny Turner单色仪，光栅为高光强、高分辩率、杂散光极低的全息光栅，单色仪的设计使其对温度和压力的变化都具有*的稳定性，因此这种光学系统具有优异的分析性能。
2，光栅
     使用110mmX80mm大面积的3600刻线/mm的全息光栅，使单色仪的入射光为可利用的较大视角的平行光，提高了光通量，因此提高了稳定性和信号强度。光栅在高分辩率的条件下也可采集到足够的光，短的测量时间即可满足需要，从而减少了所需测量的样品量。由于杂散光极低，显著提高了S/B，改善了检出限。
3，分辩率
      光谱仪的分辩率决定了仪器分辩复杂谱线的能力。高分辨率减少了建立分析方法所需的时间，有较好的检出限和较高的准确度。DGS-Ⅲ的实际分辩率为：Fe（310.030）<0.007nm。采用3600刻线/mm光栅的光谱范围为190nm—500nm，可以适用于大部分的光谱分析元素。
 
4，光栅直接驱动
         ICP等离子体光谱仪采用直接驱动光栅的机械传动方式，计算机控制下的自动波长参比保证波长的机械准确度总是优于0.004nm。由于*的重现性,扫描速度很快,全谱范围扫描只需7秒.光栅转动的高速度使得仪器在1分钟内可以分析15个元素,这意味着节省氩气和样品,分析速度快, 稳定性较高。
 
ICP等离子体光谱仪的激发光源及进样系统
1，激发光源
DGS-Ⅲ型光谱仪的激发光源为电子管震荡电路，具有功率自动调节和相位自动匹配功能,其功率输出从600W-1200W连续可调,等离子的微小波动可以由自动调节系统补偿. 40.68MHZ的等离子发生器符合国家无线电对工业频率的要求，它安装在单道扫描仪机箱内部, 构成一整体。
2，进样系统
   进样系统采用目前上*的漩流雾室系统，他具有稳定性好，清洗速度快等优点。使分析速度更快，数据更准确。该仪器测量的短期稳定性RSD<1.5%，二小时以上的*稳定性RSD<2%。
 
ICP等离子体光谱仪的电子检测系统和计算机
    ICP等离子体光谱仪和计算机之间的接口是一个智能微处理系统。它负责和计算机之间的数据通讯、采集数据、控制单色仪驱动系统的精确运动，及提供光电倍增管一组高精度负高压稳压电源。
1，电子检测系统
线性动态范围zui高可达1×108,足以满足ICP工作曲线校正的需要;
zui小分辩率为2.5×10-10;
PMT电流测量范围为：10-12-10-4安培;
高品质的电子系统有助降低仪器的分析检出限和提高精密度。