HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头,可适用的靶材种类较广,如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。
技术参数
特征
(点击图片查看详细资料) | - 采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作
- 采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均强场分布
- 磁体表面涂有一层保护层,以防止冷却水的腐蚀,延长其使用寿命
- 标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配
- 安装是采用标准真空接头,便于操作
- 更换靶材较为简单,无需调整溅射头的高度
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所需功率 | - DC(zui大)1000W
- RF(zui大)500W
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zui大溅射电流 | 3A |
溅射电压 | 100-1000 V |
溅射时腔体真空度 | 5-100 mTorr |
溅射均匀性曲线图 |
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尺寸 | |
靶材 | - 直径: 2.0英寸(50.8mm)
- 厚度: 对于非磁性靶材,zui大厚度为1/4英寸
对于磁性靶材,zui大厚度为1/16英寸 - 靶材利用率:30%
- 磁铁:NdFeB 稀土磁铁
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需要冷却水 | - 流速: 0.8 GPM
- 进水温度:<20 ℃
- 水管:0.25" OD.
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可选配件 | - 当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时,本公司会赠送一高真空快速接头
- 此快速接头的内径为0.75英寸,可将溅射头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1英寸,真空腔体的壁厚不得大于1英寸
- 循环水冷机,流量为16L / min ,水箱容积为6L
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质保 | 一年质保期,终生维护 |