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PLASCALC-2000等离子监控系统
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北京征程创拓科技有限公司(征程科技)于2008年在北京创立，是面向中国用户提供优质的光电产品及服务的代理专家，将面向客户的技术型服务作为自己的立足之本，并把它贯彻到各个环节。
公司崇尚简单、和谐的企业文化，公司为每一个有志向的员工提供一个施展才华的舞台，尊重每个人的创造性和工作热情，收获属于做出奉献的人！
征程科技视声誉为公司的生命，始终坚持“潜心做事、用心做人”的经营理念，坚信“一个正直、勤奋、坚忍不拔、恪守承诺的员工团队，是为客户提供优质服务的基础。
目前公司代理的业务涉及美国、加拿大、欧洲和日本等国家和地区。
详细信息
PLASCALC-2000等离子监控系统描述
PLASCALC-2000等离子监控系统配有2048像元CCD高分辨率的光谱仪，等离子体光辐射测量范围为200-1100nm，PlasCalc-2000进程控制系统精确可靠，其精密的数据采集和控制算法格外具有优势，对PC的模拟和数字输入输出功能也简化了进程控制过程。PlasCalc-2000及其软件系统在数据采集和信号处理上非常方便，波长、测量模式编辑器可以迅速产生有效的测量模式及各种测量模式的组合，适合于控制系统。
PlasCalc-2000参数
200-1100nm光谱的范围
1.0nm全高半宽分辨率
14位I/O D/A转换
8个TTL数字I/O端口
4个0-10V模拟输出端口
USB1.1接口
参数
多达6通道的宽带光谱数据采集
每个通道都可以独立配置光谱范围
小于0.3nm的光学分辨率
16个TTL数字I/O端口
8个1-10V模拟输出端口
USB2.0接口
应用
通用过程监控
表面清洁过程
保护膜
等离子体刻蚀
等离子室设备健康水平监控
非常规过程处理
多晶硅平整化处理
新的加工过程优化和监控
