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技术参数
观察图像 : 正像
光管 (选件): 单目目镜或双目目镜
(俯角：25o)、十字投影法、
带有 TV 插板、光通比
(目镜 /TV 插板：50/50)
目镜 (选件): 10X, 15X, 20X
物镜 : 3X (375-037), W.D.: 72.5mm
可选：1X, 5X 10X, 20X, 50X, 100X
轮廓照明
? 光源 : 卤素灯泡 (12V, 50W)
? 光学系统 : 带有可调整光圈的远心照明系统
? 功能 : 光强度可调、 无级亮度调整
表面照明
? 光源 : 卤素灯泡 (12V, 100W 或 12V, 150W)
? 光学系统 : 带有可调整光圈的科勒照明系统
? 功能 : 光强度可调、 无级亮度调整
显示装置
? 轴数 : 2 轴 (MF-A 型) 或 3 轴 (MF-B 型)
? 分辨率 : 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"
? 功能 : 调零、方向转换、
数据输出 (通过 RS-232C 接口)
电源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量 65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)
MF-B2017B
XY 工作台移动范围：
200 x 170mm
(带有双目镜选件)
使用带有 2 个目镜安装槽的
滑动型目镜转换盘选件 (工
厂设置选件权)
3X 目镜分划板
12AAG838 (12AAG878): 十字线 (7μm 宽)
12AAG836 (12AAG877): 十字线 (5μm 宽)
12AAG873 (12AAG876): 十字线 (3μm 宽)
12AAG839 (12AAG879): 十字线分划板
12AAG840 (12AAG880): 十字线分划板 和 60o 角
12AAG841 (12AAG881): 蔡氏型图
12AAG842*: 20mm 读数尺 (分度值 0.1mm)
12AAG843*: 同心圆 (?1.2 - ?18mm)
12AAG844*: 10mm 读数尺 (分度值 0.1mm)
12AAG845*: 5mm 读数尺 (分度值 0.05mm)
12AAG846*: 10x10mm 网格线 (zui小 1mm)
12AAG847*: 公制螺纹 (P = 0.25-1.0)
12AAG848*: 公制螺纹 (P = 1.25-2.0)
12AAG849*: 渐开线齿轮 (14.5o), 模数 = 0.1 - 1.0
12AAG850*: 渐开线齿轮 (20o), 模数 = 0.1 - 1.0
12AAG851*: 统一标准螺纹 (80 - 28TPI)
12AAG852*: 统一标准螺纹 (24 - 14TPI)
12AAG853*: 统一标准螺纹 (13 - 10TPI)
12AAG854*: 同心圆 (?.01" - ?.2")
( ): 适于 MF-U 型
*：兼容 MF/MF-U 提供分划板插板
分划板插板
(标准附件)
十字线和45? 角
(标准附件)
505B: 50 x 50mm 1010B: 100 x 100mm 2010B: 200 x 100mm
XY 工作台选择(行程范围)
3017B: 300 x 170mm 4020B: 400 x 200mm
MF 测量显微镜具有可扩展性，如与三丰
Vision Unit 一起使用可提高其性能，或者可
在 PC 中进行数据管理， 从而确保提高效率。
特点
? 亮视场观察、清晰的无闪烁的正像、以
及宽阔的视场范围。
? 长工作距离目镜，倍率可达100X (总倍率：
2000X)。
? 透射照明孔径光阑和反射照明系统为标
准性能配置。
? 快速释放系统，特别适用于长行程测量。
? 微调／粗调立柱两侧的加紧装置，进行
聚焦和测量。
? 调零开关 (X 轴和 Y 轴) 也位于操作台手柄
的附近。
? 可将 Vision Unit 升级为视像测量系统。
MF
176系列 — 测量显微镜
适于 MF-U 型
适于 MF 型367
性能参数
型号 (XY 工作台尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
货号 MF-A 176-561* 176-562* 176-563* 176-564* 176-565* 176-566*
MF-B 176-581* 176-582* 176-583* 176-584* 176-585* 176-586*
XY 工作台移动范围 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 轴移动范围 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
调焦方式 手动调焦 (粗调焦：10mm/rev、微调焦：0.1mm/rev)
测量方法 线性编码器 (2 轴型：X / Y 轴、3 轴型：X / Y / Z 轴)
分辨率 (可转换) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
测量精度 (20oC 时) XY 轴：(2.5+0.02L)μm, L 为无负载测量长度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20oC 时) Z 轴：(5+0.04L)μm, L 为测量长度 (mm)
浮动功能 带有快速断开功能的 X 和 Y 轴
XY 工作台台面尺寸 280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
载物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋转功能 — — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)
zui大工件重量 10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
zui大工件高度 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：176-561A):
A 适于UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国、K 适于 EK，无后缀适于 JIS/100V
选件
176-302: 10X 单目目镜
176-303-1: 10X 双目目镜套装
378-856: 10X 目镜套装 (视场范围：24mm)
378-857: 15X 目镜套装 (视场范围：16mm)
378-858: 20X 目镜套装 (视场范围：12mm)
375-043: 量角目镜 (10X)
176-313: 数显量角目镜 (10X)
375-036-2: 1X 物镜 (W.D.: 61mm, N.A.: 0.03)
375-037-1: 3X 物镜 (W.D.: 77mm, N.A.: 0.09)
375-034-1: 5X 物镜 (W.D.: 61mm, N.A.: 0.13)
375-039: 10X 物镜 (W.D.: 51mm, N.A.: 0.21)
375-051: 20X 物镜 (W.D.: 20mm, N.A.: 0.42)
375-052: 50X 物镜 (W.D.: 13mm, N.A.: 0.55)
375-053: 100X 物镜 (W.D.: 6mm, N.A.: 0.7)
176-314-1: 滑动型物镜转换器 (2-mount, perfocal)
176-314-2: 滑动型物镜转换器 (2-mount, mag. adjusted)
12AAA643: ND2 型彩色滤光片 (轮廓／表面)
12AAA644: ND8 型彩色滤光片 (轮廓／表面)
12AAA645: GIF 型滤光片 (轮廓／表面)
12AAA646: LB80 型彩色滤光片 (轮廓／表面)
375-054: 0.5X 相机转向镜 (带有C-mount 适配器)
970441: C-mount 适配器
513667: 卤素灯泡 (24V, 50W)
12BAB345: 卤素灯泡 (长寿型、24V, 50W)
176-308: 防振台架
176-309: 安装台架
375-056: 读数尺
12AAA165: 镜头清洗工具
12AAA846: 脚踏开关
照明元件 (详见 373 页)
176-351-6: 斜面表面照明装置
176-367-1: LED 环形照明装置
176-343: 双光纤照明装置
176-366: 环形光纤照明装置
12AAG806: GIF 型彩色滤光片 (用于光纤照明装置)
12AAG807: LB80 型彩色滤光片 (用于光纤照明装置)
固定和工作台附件 (详见 363 页)
176-107: 带有夹钳的支架 *
172-378: 带有夹钳的 V 型块 *(zui大工件直径：25mm)
172-197: 用于 TM-510 的旋转式中心支架 *
(zui大工件直径：80mm)
176-305: 带有微调旋钮的旋转工作台，适用于
505B/1010B/2010B 型号
176-306: 带有微调旋钮的旋转工作台，适用于
2017B/3017B/4020B 型号
*2010B 型号需要与固定适配器(176-310) 配合使用
2017B/3017B/4020B 型号需要与固定适配器(176-304) 配合使用
QM-Data200
2D 数据处理器
(详见374 页)
12AAA807：连接电缆套装
Focus pilot FP-05
辅助聚焦系统
(详见372 页)
Vision Unit
基于PC 的视像测量系统
(详见376 页)
尺寸
单位：mm
设备型号 MF-A MF-B
测量系统 X 和 Y 轴 (2 轴型) X, Y 和 Z 轴 (3 轴型)
设备选型 |
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