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ALD-05 美国SVT公司ALD原子层沉积系统
- 型号
- ALD-05
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北京中精仪科技有限公司是一家致力于提供先进的科研生产测试仪器及相关技术咨询服务的科技企业, 公司由来自美国的相关领域资深专家成立, 公司总部设在美国加州硅谷地区。
公司多年来秉承着“精益求精”的经营理念，为中国高等院校、科研机构、生产企业配备了大量先进的专业仪器。提供了高水平、专业化的技术产品及高质量的售后服务。
公司销售的产品涉及到：
（1）材料力学试验机：摩擦磨损试验机，耐磨试验机，真空试验机，电化学腐蚀试验机，疲劳试验机，弯曲扭转试验机，微纳划痕仪、压痕仪，高温微米压痕仪等。
（2）材料表面分析 ：三维形貌仪，白光干涉仪，激光共聚焦显微镜，原子力显微镜等。
（3）半导体设备/CMP ：原子层沉积系统（ALD），MBE分子束外延系统，激光脉冲沉积(PLD)，物理气相沉积系统（PVD），化学机械抛光设备（CMP）等。
（4）生化仪器：激光拉曼光谱仪等
（5）扭矩测试：多功能扭矩测试仪，电机扭矩测试仪，轴承扭矩测试仪等。
详细信息
美国SVT公司ALD原子层沉积系统
自1990年来薄膜淀积设备制造商。
拥有独立的室内实验室用于材料研究和工艺开发。
提供广泛的服务，包括淀积设备、淀积部件、集成传感器以及工艺控制
设备制造和工艺技术的高度结合，为客户提供可靠的技术服务
实验室7台应用淀积设备生长出的材料
多条设备生产线几乎覆盖了整个薄膜淀积设备市场
在薄膜淀积领域拥有超过120台设备的供应商。
NorthStar ALD系统介绍
NorthStar ALD原子层沉积系统提供各种淀积方法，包括热淀积以及能量增强淀积。
每台设备可以提供多达8个源管路以及一个热壁淀积腔，使其应用范围极为广泛。
设备的快速舱口盖或装载室（可选件）使样品操作快捷方便。
NorthStar ALD系统不但能跟其他设备连接起来，还能连接多种测量仪器。
原位测量工具以及RoboALD软件自动化系统提高了工艺的再现性。
可以直接升级至超高真空
提供工艺演示以及工艺培训服务
为潜在客户提供免费样品测试。
应用领域
High-K电介质
纳米涂层
MEMS
光子晶体
扩散阻挡层
器件封装
表面改性层
技术参数
为科研客户量身打造优质的原子层沉积系统。
提供4"、6"、8"、12"等多种尺寸的样品平台。
针对客户的需求，提供多种输气设计。
---可控真空度: 1 Torr to UHV
---气道加热
---气体快速进出
---样品尺寸: 4in standard, optional 12in
---基底加热: up to 300 ℃, optional higher temp
主要特点
安全的设计，多样化的配置，测试手段。
精确的控制手段打造*的成膜质量。强大的科研团队铸就雄厚的科技实力。
---气体离子化
---臭氧输送装置
---石英振荡器
---四重质量分光计
---实时温度显示
---椭偏仪
---进样室
