起订量:
2.75/4.5“/6.0'' 美国SVT RF/射频等离子源
高级会员第11年
经销商北京中精仪科技有限公司是一家致力于提供先进的科研生产测试仪器及相关技术咨询服务的科技企业, 公司由来自美国的相关领域资深专家成立, 公司总部设在美国加州硅谷地区。
公司多年来秉承着“精益求精”的经营理念,为中国高等院校、科研机构、生产企业配备了大量先进的专业仪器。提供了高水平、专业化的技术产品及高质量的售后服务。
公司销售的产品涉及到:
(1)材料力学试验机:摩擦磨损试验机,耐磨试验机,真空试验机,电化学腐蚀试验机,疲劳试验机,弯曲扭转试验机,微纳划痕仪、压痕仪,高温微米压痕仪等。
(2)材料表面分析 :三维形貌仪,白光干涉仪,激光共聚焦显微镜,原子力显微镜等。
(3)半导体设备/CMP :原子层沉积系统(ALD),MBE分子束外延系统,激光脉冲沉积(PLD),物理气相沉积系统(PVD),化学机械抛光设备(CMP)等。
(4)生化仪器:激光拉曼光谱仪等
(5)扭矩测试:多功能扭矩测试仪,电机扭矩测试仪,轴承扭矩测试仪等。
美国SVT RF/射频等离子源适用于多个公司多种型号
法兰接口包括: 2.75''、4.5''、6''。
等离子源用于离解双原子氮、氧和氢。离解过程中不会产生高能离子。
产生的束流含有零离子,有助于生长高质量的薄膜,也可以在不损伤衬底表面的情况下清洗衬底。
高生长率等离子体源能够在生长速率大于4μm/hr的情况下生长高质量的薄膜。
光阑和等离子腔形状可以顾客定制,以满足客户对不同流量的需求。
软件作为可选项,能够实现自动操作,允许用户保存数据,编写工艺程序。
美国SVT RF/射频等离子源特点
可提供N²、O²、H²等离子源
生长速率大于4μm/hr
源设计有等离子体观察窗口
光阑和等离子腔形状可以客户定制
RF自动调节可选
RF 功率 | 200-600W |
气体流量 | 0.1-10SCCM |
法兰 | 4.50’’ CF |
源直径 | 2.35’’ |
水冷却 | 0.17GPM 流量(0.227m3/hr) |
RF匹配网络 | 手动调节(自动调节可选) |
等离子腔 | PBN,氧化铝,石英 |