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PLD-01/PLD-02 美国SVT 脉冲激光沉积设备/PLD
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经销商北京中精仪科技有限公司是一家致力于提供先进的科研生产测试仪器及相关技术咨询服务的科技企业, 公司由来自美国的相关领域资深专家成立, 公司总部设在美国加州硅谷地区。
公司多年来秉承着“精益求精”的经营理念,为中国高等院校、科研机构、生产企业配备了大量先进的专业仪器。提供了高水平、专业化的技术产品及高质量的售后服务。
公司销售的产品涉及到:
(1)材料力学试验机:摩擦磨损试验机,耐磨试验机,真空试验机,电化学腐蚀试验机,疲劳试验机,弯曲扭转试验机,微纳划痕仪、压痕仪,高温微米压痕仪等。
(2)材料表面分析 :三维形貌仪,白光干涉仪,激光共聚焦显微镜,原子力显微镜等。
(3)半导体设备/CMP :原子层沉积系统(ALD),MBE分子束外延系统,激光脉冲沉积(PLD),物理气相沉积系统(PVD),化学机械抛光设备(CMP)等。
(4)生化仪器:激光拉曼光谱仪等
(5)扭矩测试:多功能扭矩测试仪,电机扭矩测试仪,轴承扭矩测试仪等。
美国SVT 脉冲激光沉积设备/PLD应用
● 多元素复合氧化物
● 高温超导材料
● 磁性材料、金属材料
● 低蒸汽压材料
● MEMS
基本系统
腔室及真空泵
12’’ 快速门,250l/s 分子泵,全量程规
沉积源
靶台,6X1’’(25mm) 靶,可以水平旋转,可Z方向移动
样品台
1’’(25mm)大小,可加热至800oC(1000oC可选),可水平旋转,可Z方向移动
在线工艺监控
石英晶振沉积速率监控仪
自动化
自动化装置:
控制样品温度和旋转
靶台的位置控制
靶台旋转
气体控制
速率及厚度计算(利用QCM输出)
激光束扫描(可选)
激光束屏蔽控制
自动泵抽和充气
差分泵抽结构
RHEED分析(可选)
装载室压强监控(可选)
美国SVT 脉冲激光沉积设备/PLD主要特点
RF射频等离子源(氧,氮)
升级高真空
增加进样室
升级为Laser-MBE (L-MBE)系统
自动软件控制
提供更洁净的薄膜生长环境,控制解决方案