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WP-15 美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机
高级会员第11年
经销商北京中精仪科技有限公司是一家致力于提供先进的科研生产测试仪器及相关技术咨询服务的科技企业, 公司由来自美国的相关领域资深专家成立, 公司总部设在美国加州硅谷地区。
公司多年来秉承着“精益求精”的经营理念,为中国高等院校、科研机构、生产企业配备了大量先进的专业仪器。提供了高水平、专业化的技术产品及高质量的售后服务。
公司销售的产品涉及到:
(1)材料力学试验机:摩擦磨损试验机,耐磨试验机,真空试验机,电化学腐蚀试验机,疲劳试验机,弯曲扭转试验机,微纳划痕仪、压痕仪,高温微米压痕仪等。
(2)材料表面分析 :三维形貌仪,白光干涉仪,激光共聚焦显微镜,原子力显微镜等。
(3)半导体设备/CMP :原子层沉积系统(ALD),MBE分子束外延系统,激光脉冲沉积(PLD),物理气相沉积系统(PVD),化学机械抛光设备(CMP)等。
(4)生化仪器:激光拉曼光谱仪等
(5)扭矩测试:多功能扭矩测试仪,电机扭矩测试仪,轴承扭矩测试仪等。
美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机介绍
SVT公司的样品解理部件可以将15mm(其他尺寸可选)的方形样品解理成15个1mm×15mm的Bar条。
所有解理出的bar条被收集到样品托,堆叠在一起进行下一步批量加工。
*设计的解理工具避免了器件被破坏以及样品互相黏在一起的可能性。
此解理工具可*适用于UHV环境。
解理机可以增加钝化层沉积模块。
解理后堆叠在一起的Bar条直接进入钝化室,不用暴露大气。
美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机规格
在线bar条解理
加工15mm×15mm 样品(10mm-32mm可选)
加工成15mm×1mm 样品(1mm-5mm宽度可选)
8''法兰接口
可烘烤至180℃,(200℃可选)
样品可以两种方向加工
UHV环境兼容
Cassette装取