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RHEED SVT公司 RHEED及图像获取系统
- 型号
- RHEED
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北京中精仪科技有限公司是一家致力于提供先进的科研生产测试仪器及相关技术咨询服务的科技企业, 公司由来自美国的相关领域资深专家成立, 公司总部设在美国加州硅谷地区。
公司多年来秉承着“精益求精”的经营理念，为中国高等院校、科研机构、生产企业配备了大量先进的专业仪器。提供了高水平、专业化的技术产品及高质量的售后服务。
公司销售的产品涉及到：
（1）材料力学试验机：摩擦磨损试验机，耐磨试验机，真空试验机，电化学腐蚀试验机，疲劳试验机，弯曲扭转试验机，微纳划痕仪、压痕仪，高温微米压痕仪等。
（2）材料表面分析 ：三维形貌仪，白光干涉仪，激光共聚焦显微镜，原子力显微镜等。
（3）半导体设备/CMP ：原子层沉积系统（ALD），MBE分子束外延系统，激光脉冲沉积(PLD)，物理气相沉积系统（PVD），化学机械抛光设备（CMP）等。
（4）生化仪器：激光拉曼光谱仪等
（5）扭矩测试：多功能扭矩测试仪，电机扭矩测试仪，轴承扭矩测试仪等。
详细信息
产品简介
反射高能电子衍射仪是MBE制程的一部分。在薄膜沉积过程中，RHEED给客户提供了重要的信息。
首先，RHEED图像表征样品表面的状态。
其次，其强度震荡可以提供生长速率的量化数据。
RHEED提供了清晰的焦点，以及衍射图样，并能够在屏幕上高亮度显示。
电子光学部件有磁性保护罩，便于提高操作性。
可选部件：RHEED图像分析硬件和软件系统，可以实时获取RHEED图样，使用户便于观察和控制薄膜生长质量。完整的RHEED系统包括 10KeV RHEED电子束源，电源及配套光缆。
技术参数
| 束流电压 | 10KV |
| 灯丝电流 | 3A |
| 发射电流 | 5A |
| 光斑大小 | 1.0mm (17’’/1075px距离) |
| 烘烤温度 | 230℃ |
RHEED Electron Source
2.75"和4" 法兰
RHEED Power Supply
RHEED Image Analysis Software
高分辨CCD 或相机
实时分析
2D/3D分析
RHEED Optional Components
主要特点
实时检测外延生长
测量薄膜生长速率
单晶薄膜的生中速率测量
光学部件带有磁性罩
