一、微小流量质量流量控制器产品特点

1、50毫秒内完成稳定的控制响应

精确、稳定的流量取决于控制响应速度，艾里卡特?质量流量控制器50毫秒内即可到达新的设定值。快速、可重复、稳定！

拥有可靠的稳定性及响应速度，艾里卡特?质量流量控制器总是一击击中，为快的质量流量控制器！采用艾里卡特?的层流压差流量测量技术与高速比例控制阀相结合，使得到达设定值的速度远远快过您眨一下眼。

2、操作便捷

?     50-100毫秒控制响应

?     允许用户自行调节PID以获得的速度和稳定性

?     定制化阀门孔径以保证满量程流量的稳定性

?     同一台设备控制质量流量、体积流量或压力

?     瞬间启动、无需预热：1秒内即可开始流量控制

二、微小流量质量流量控制器产品系列

MC 标准系列

控制响应快、稳定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特?R系列阀门为*的无摩擦阀门，可精密控制大流量的气体流量，特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。

MCW / MCRW 低压损系列

大限度减小压损对系统的影响，满量程压损低仅为4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力，是航空航天、环境气体分析等应用的选择；大量程：0-500 slpm。点击这里了解更多关于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蚀系列

所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。 点击这里了解更多关于耐腐蚀系列

MCE / MCV 半导体行业系列

可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器，可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容，封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀 ，专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 点击这里了解更多关于半导体行业系列

MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列

*双向质量流量控制器，可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防腐蚀型MCDS系列。  点击这里了解更多关于双向质量流量&压力控制器系列

三、常用选配项

?     后置阀门，优化真空及背压应用的控制

?     批量控制模式，依靠快速的阀门响应来分配流量，包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA认证1类2区 / ATEX认证1类2区允许设备用于危险环境

?     9针或15针D-Sub等连接接口可选

?     通讯模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可选

?     彩色背光显示屏适用于光线不足的场合

四、性能参数