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PCE-22-LD紫外臭氧清洗机

型号
参数
产地类别:国产 应用领域:地矿
沈阳科晶自动化设备有限公司

高级会员19年 

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详细信息

PCE-22紫外臭氧清洗机是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶,改善表面润湿性,清洗SEM &TEM,紫外对聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。1、仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内;
2、温度范围:5-40℃;
3、相对湿度上限80%,30.5℃,40℃线性降至50%相对湿度;
4、主电源波动不超过额定电压的10%;
5、污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb。
6、去除分子级别的污染物
7、紫外光固化粘合剂
8、紫外光催化
9、氧化PDMS
10、表面消毒
11、刻蚀
12、清洗MEMS 器件
13、清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

产品名称PCE-22紫外臭氧清洗机
产品型号PCE-22
主要参数1、功率:上限350W
2、AC 208~240V,单相 50/60Hz
腔体&样品台
1、不锈钢壳体
2、抽屉式样品台,以便放样取样
3、样品台面积310 mm x 320 mm
4、臭氧通风装置安装在腔体上
5、样品台与紫外灯的距离:20mm -40mm(可调)
6、样品台可以加热,最高温度可达150℃
7、可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃
8、设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时

排气口
1、直径为80mm的排气口安装在仪器后端
2、请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外
3、仪器中不包含橡胶管

紫外灯
1、可发出双波长的水银灯
2、功率:55W
3、发出光的波长:254 nm 和 185 nm
4、使用寿命:2500 小时(可更换)
5、照射区域:200 x 200 mm
6、可以清洁直径上限为12英寸x 35毫米的晶体晶片。

产品规格1、尺寸:510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
2、重量:28kg



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产品参数

产地类别 国产
应用领域 地矿
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