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iH80 爱德华干式真空泵 iH80 维修
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经销商深圳市信仕德科技有限公司,坐落深圳宝安,为中国台湾企业在中国大陆的专业真空产品和解决方案供应商,公司在中国台湾,马来西亚,新加坡等地均设有服务联络处。
公司产品和解决方案涵盖专业真空系统设备(真空帮浦)及真空厂务系统研究开发,真空在现代工业的实际应用,高压清洗机的研发生产,及相关真空产品的维修,销售及保养。
公司技术团队是由拥有丰富实际经验的专业科技人才所组成。公司产品和服务应用于各种行业,从实验室到需求Z多的半导体和工业行业,以及新兴的太阳能和生物柴油行业,电子产品,压铸及各产业界使用真空系统设备之公司。
公司本着“诚信 专业 品德 质量 高效 服务”的企业精神,真诚为业内各界提供高满意度的服务。
公司服务内容包括
1. 新品真空泵销售
德国BECKER贝克系列真空泵,中国台湾汉钟真空泵(hanbell), Edwards爱德华系列真空泵,DS系列等,具体品牌型号欢迎来电咨询。
2. 二手真空泵。
二手真空泵有油式真空泵,干式真空泵,涡卷式真空泵,碳片式真空泵,冷冻式真空泵,真空系统设备等,具体品牌型号欢迎来电咨询。
3.真空泵维修保养服务:
包括油式真空泵,干式真空泵,涡卷式真空泵,碳片式真空泵,冷冻式真空泵等。可提供整体工厂真空系统维修与保养服务,公司技术骨干为有多年专业经验的中国台湾工程师,配件基本上由中国台湾或者国外采购制造,技术质量保证,价格合理,可到公司收送,可提供备品机。
4. 真空泵与真空系统设备零配件及耗材销售:
包括各式真空泵维修包,碳精叶片,真空泵维修套件,真空泵*油品与真空泵油膏(FOMBLIN氟素油,道康宁DOW CORNING HVG真空油脂等)、真空计,压力表,真空系统外围使用之真空组件,管件等。泵配件波纹管(NW,KF,ISO等),转接头,气阀等、空气过滤器,油雾捕捉器,油过滤器,空气滤心器等。
优势产品包括:
汉钟PS1802,汉钟PS1302,汉钟PS902,汉钟PS602,爱德华RV12,爱德华RV5,爱德华RV8,爱德华E2M18,爱德华E2M28,爱德华E2M40,爱德华E2M80,爱德华E2M275,贝克U4.100,贝克U4.40,贝克VT4.40,贝克VT4.8,纪维GWSP300,纪维GWSP600,纪维GWSP150,莱宝D65B,莱宝D16B,莱宝D25B,阿尔卡特2033,阿尔卡特2021,爱德华19号油,爱德华20号油,爱德华70号油,FOMBLIN25/6, FOMBLIN16/6,松村MR-200,松村MR-250,松村MR-100,杜邦1525,爱德华EFM20油雾过滤器,爱德华EFM10油雾过滤器等
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照zui高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时zui大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
Edwards iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时zui大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
峰值速度: 103 m3h-1
61 cfm
1717 l min-1
极限真空: 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
典型轴封氮流量: 4 slm
进气口连接: ISO63
出口连接: NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量: 120 l h-1
2 l min-1
重量: 240 kg
极限功率输入: 2.7 kW
电机额定功率: 3.5 kW
油容量: 0.7 l