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PCE-22 加热型紫外臭氧清洗机

型号
PCE-22
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等
  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息

 PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶,改善表面润湿性,清洗SEM &TEM,紫外对聚合物改性等。
   紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

 

技术参数

电源

AC 208~240V,单相 50/60Hz

紫外灯

  • 可发出双波长的水银灯
  • 功率:55W
  • 发出光的波长:254 nm 和 185 nm 
  • 使用寿命:2500 小时(可在本公司购买紫外灯来更换)
  • 照射区域:200 x 200 mm

腔体&样品台

  • 不锈钢壳体
  • 抽屉式样品台,以便放样取样
  • 样品台面积310 mm x 320 mm
  • 臭氧通风装置安装在腔体上
  • 样品台与紫外灯的距离:20mm -40mm(可调)
  • 样品台可以加热,zui高温度可达150℃
  • 可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃
  • 设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时

排气口

  • 直径为80mm的排气口安装在仪器后端
  • 请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外
  • 仪器中不包含橡胶管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
 

净重

28kg

质保期

一年质保期,终生维护(不包含紫外灯)

应用

  • 去除分子级别的污染物
  • 紫外光固化粘合剂
  • 紫外光催化
  • 氧化PDMS
  • 表面消毒
  • 刻蚀
  • 清洗MEMS 器件
  • 清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

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