MX51工业检测半导体显微镜 详细介绍：

考虑了检查效率的设计 高灵敏度载物台可以迅速决定位置

内置离合器的载物台手柄

MX51主要操作部件集中在前面，操作人员易于操作，即使长时间操作也不会感到疲劳。150mm载物台内置离合器，可实现轻松移动。

电动物镜转换器示意图

电动物镜转换器示意图 电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

鲜明图像和的分辨率为特点的光学系 多种选择可实现的成像性能

UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的性能。

观察影像实例

明视场观察

暗视场观察

微分干涉观察

荧光观察

丰富的产品阵容，可按需选择
MPLAPON 平场复消色差透镜 MPLFLN 平场半复消色差透镜
MPLFLN-BD 明暗视场用平场半复消色差透镜
MPLFLN-BDP 反射偏振光用平场半复消色差透镜
LMPLFLN 长工作距离平场半复消色差透镜
LMPLFLN-BD 明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜
MPLN 平场消色差透镜
MPLN-BD 明暗视场用平场消色差透镜
SLMPLN 超长工作距离平场消色差透镜
LCPLFLN-LCD 液晶长工作距离平场半复消色差透镜

MX51工业检测半导体显微镜软件方案
使用数码照相机记录和保存数码影像

帮助实现多种观察方法的附件
近红外线观察单元

由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜，和红外线用超广角三目镜筒等，备有各种对应近红外线观察的单元。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。

近红外线观察单元

近红外线观察

荧光观察单元

在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置，可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。

荧光镜单元

荧光观察

透射照明单元

透射照明单元

对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA（数值孔径）的B型号两种型号。