经典款膜厚仪CMI900射线源参数介绍：牛津膜厚仪

空冷式微聚焦型X射线管，Be窗

标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等

功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)

装备有安全防射线光闸

二次X射线滤光片：3个位置程控交换，多种材质、多种厚度的二次滤光片任选

准直器系统  牛津膜厚仪

单准直器组件

多准直器自动控制组件：zui多可同时装配6种规格的准直器

经典款膜厚仪CMI900多种规格尺寸准直器任选：

－圆形，如4、6、 8、 12、13、20 mil等

即0.102、0.152、0.203、0.305、0.330、0.508mm

－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16mil等

即0.025*0.05、0.05*0.05、0.013*0.254、0.025*0.254、0.051*0.254、0.102*0.406mm

测量斑点尺寸

在12.7mm聚焦距离时，zui小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>准直器)

在12.7mm聚焦距离时，zui大测量斑点尺寸为：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm<即圆形12mil>准直器)

样品室  

开槽式样品室

经典款膜厚仪CMI900样品台尺寸：

zui大610mm x 610mm

XY轴移动范围

标准：152.4 x 177.8mm<程控> 

Z轴程控移动高度

43.18mm

XYZ轴控制方式

多种控制方式任选：

XYZ三轴程序控制；

XY轴手动控制和Z轴程序控制；

XYZ三轴手动控制

样品观察系统

高分辨彩色CCD观察系统，标准放大倍数为30倍。

50倍和100倍观察系统任选。

激光自动对焦功能

可变焦距控制功能和固定焦距控制功能

计算机系统配置

IBM计算机

惠普或爱普生彩色喷墨打印机

分析应用软件

操作系统：Windows XP中文平台

分析软件包：SmartLink FP软件包

测厚范围

可测定厚度范围：取决于您的具体应用。

基本分析功能

采用基本参数法校正。牛津仪器将根据您的应用提供必要的校正用标准样品；

样品种类：镀层；