产品特点：

　　1.公司自主研发*等离子体技术，松下高精度数字真空压力表能实时检测显示舱体内真实真空度，提供工艺           参数里压力值的计量依据

　　2.不锈钢腔体，内置电极板无污染，连体舱门更方便和更美观，舱体、阀体，管路采用耐用防腐蚀材料;

　　3.采用电容式等离子激发，真空室等离子体分布均匀，处理效果好，可重复性;

　　4.控制系统：5寸彩色触摸屏英文互动操作界面，自动控制并监测仪器运行参数状态，设置数据可存储追溯。

      5.PLC全自动控制全流程,采用施耐德，欧姆龙等进口品牌电器元件，可在线设定，修改监控真空压力，处理             时间，等离子功率等工艺参数，即可一键启动，连续重复运行，J确控制试验时间、真空度、功率等重要参             数,程序内设多项安全保护，防止误操作，对人和仪器做到大保护;

　　6.手动、自动两种模式任意切换，手动模式用于实验工艺的模拟，自动程序用于批量处理样品。

　　7.可预置多个实验参数，简化操作，提高效率。编好程序自动完成整个实验过程;

　　8.使用成本低，无需进行特殊维护，在日常使用中保持仪器清洁即可应用领域;

　　9.安全保护：当射频模块发生温度异常升高时，可以自动感知并停止射频模块工作，保护样品，提高设备安全           和稳定性;

     10：采用45度倾斜角操作面板设计，人性化操作界面操作起来方便舒适。

技术参数：