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起订量：
EMS 675X 三靶溅射镀膜仪（样本制备）
- 型号
- EMS 675X
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海德公司是Electron Microscopy Sciences 公司（简称 EMS ）在中国的总代理，我们致力于符合中国客户的产品引入中国！精密的Dumont镊子和DiaTome钻石刀给电子显微镜用户带来便利。
胶体金二抗来自荷兰的Aurion公司，这是一家专业的免疫金试剂的生产厂家，过去的几年中，Aurion的产品线不断壮大，产品质量稳定，包括了光镜、电镜方面的免疫金试剂，产品线已经形成：电镜方面的银加强试剂、超微Fab片段、封闭试剂、Donkey的免疫金标记试剂等等。
提供美国EMS公司的镀膜仪（喷金仪）、辉光放电仪、低温灰化仪等等电子显微镜周边仪器，以及电镜铜网、支持膜、微珊、树脂包埋剂等等试剂耗材。
来自英国的抗原修复锅和新型的免疫佐剂给更大病理研究和制药企业带来福音。
海德生物代理国外产品的同时，也在某些领域进行着积极的探索和研究，已经研制出新型试剂和科研工具，我们将会不断的推出紧跟时代发展的产品给广大的科研工作者。
详细信息
EMS 675X三靶溅射镀膜仪(样本制备）High Resolution, Large Sample Sputter Coater
高分辨率，大样品，镀铬或其它金属
EMS675X三靶溅射镀膜仪（样本制备）可用于8英寸（200mm）晶圆镀膜。主机系统具有双齿转动样品台，可进行渐进的椭圆形转动，这样使得溅射沉积更均匀。
EMS675X三靶溅射镀膜仪(样本制备）系统装有磁电管靶可增加溅射效率，它使用低电压，可得到薄而精细的涂层。在EMS675X中放置了三个靶面，可镀非常大直径的样品，加上旋转样品台，保证了均匀沉积。这种方式不需要特殊的靶面，而用标准靶即可。多靶系统在半导体晶圆工业尤为适用。它使用涡轮分子泵，前级为旋转机械泵。集成的仪器面板和即插即用的电子学zui大的“up-time”，还有用户友好设计，保证了多用户系统的应用。
可预设溅射参数，包括气体放气电磁阀。独立的真空泵系统由仪器自动控制。它可用金作为溅射靶材，在需要预清洗或去除氧化层时，也可选用其它靶材，如铬靶。
闸门作为标准配置，这样在维持真空时即可进行溅射清洁和溅射循环。
特点:
- 配置三个靶面
- 涡轮分子泵抽气系统
- 全自动控制
- Peltier冷却溅射头
- 精细涂层（0.5nm Cr粒子）
- 可倾斜的特殊旋转台作为标准配置
- 薄膜沉积（典型为5nm）
- 直径为300mm腔室
- 可选双溅射头
优点:
- 可对大样品进行镀膜，如：8英寸晶圆
- 可溅射易氧化金属的精细颗粒，如：铬或铱
- 易操作
- 无需水冷却
- 超高分辨率，可复制涂层
- 适应各种样品
- 重复膜厚沉积
- 样品容易装载和卸载，包括8英寸晶圆
- 不需要打开真空即可进行两种金属顺序涂层
仪器参数：
仪器尺寸 | 450mm W x 500mm D x 300mm H (总高 630mm) |
重量 | 42公斤 |
工作腔室 | 硼硅酸盐玻璃 300mm Dia. x 20mm H |
安全钟罩 | 聚碳酸酯 |
靶 | 54 mm 直径 x 0.3mm 厚x 3(铬作为标配靶材) |
旋转样品台 | 可调的6 至 8 英寸晶圆尺寸,到靶距离60mm |
沉积速率 | 0-15nm/分 |
溅射电流范围 | 0-450mA |
真空范围 | ATM-1x10-5 mbar |
溅射定时 | 0-4 分钟 |
电源 | 230 伏 50Hz(包括泵zui大电流为8安培) |
仪器订购信息：
货号 | 产品名称 |
91026 | EMS675X Turbo Sputter Coater complete with Three targets |
91025 | Rotary Vacuum Pump |
91030 | Gold Targets (x3) |
91031 | Gold Palladium Targets(x3) |
91032 | Platinum Targets(x3) |
91013 | Chromium Targets (x3) |
91014 | Tungsten Targets (x3) |
91033 | Glass Cylinder 225mm |
91034 | L Gaskets (x2) |
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