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阿瑞斯-µVOC 空气分子污染物监测系统
- 型号
- 阿瑞斯-µVOC
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北京杜克泰克科技有限公司，是一家专注于痕量级微量级气体、液体、固体等介质含量分析的科技公司，尤其是光声光谱技术（PAS）、傅里叶红外光谱技术(FTIR)、紫外差分吸收光谱等光电技术的应用，致力于环境监测、半导体特气、电力能源、石油天然气、航空航天、催化材料、农林畜牧、生态研究等领域的ppm，ppb，ppt级微量气体分析与测量，并提供相应的气体分析解决方案。
为各大高校、科研院所、国有大型企业、高科技企业、检验监督等单位提供可靠准确的测试测量产品与服务。主要产品有：温室气体通量观测系统、煤自燃监测系统、洁净室AMC空气分子污染物检测系统、温室气体通量观测系统、痕量级多气体分析仪、微量氨气分析仪等。
详细信息
概述：
空气分子污染物(AMC)对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。
无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。
阿瑞斯-μVOC提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案，不需要采样，离线测量。
检测限达到sub-ppb级
洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物,以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。
一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果，比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。
可测组份
| 2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH | (t-乙酸丁脂)二羟基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH |
| 2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH | 六甲基二硅胺烷(CH3 ) 3SiNHSi(CH3)3 |
| 异丙醇(CH3 ) 2CHOH | 二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH |
| 乙醇胺 H2NCH2CH2OH | 邻苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2 |
| 环己胺C6H11NH2 | 邻苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2 |
| 环聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n | 邻苯二甲酸二丁酯 C6H4(C = OOC4H9)2 |
| 对二氯苯CIC6H4CL | 三乙胺(C2H5 ) 3N |
| 邻苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2 | 邻苯二甲酸二环己酯C6H4(C=OOC6H11)2 |
| 邻苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2 | 磷酸三乙酯(C2H5O ) 3P=0 |
| 十甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5 | 十二甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6 |
| 二甲苯(CH3)2C6H4 | 三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O ) 3P=0 |
| 三甲基硅醇C3H10OSi | ...... |
亮点
一般特点：
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在线连续质量监测全部自动化系统
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低浓度VOC监测
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独立分开测量有机物成份
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Sub-ppb检测限
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集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能
应用
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洁净间污染物监测
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过滤器状态监测
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加工过程全组份测量诊断污染物
