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L200/D 集成电路检查显微镜
- 型号
- L200/D
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同创仪器以其雄厚的实力和在业界良好的信誉，成为INTEK IMS全自动三次元，NIKON光学仪器，KOWA显微镜，IMS三座标世界*品牌的优秀合作伙伴。
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详细信息
NIKON将CFI60光学系统用于集成电路检查显微镜，由此获得*的高对比度图象。
CFI60光学系统是将尼康*的CF（消色差）设计与无限远光学系统结合在一起，使得物镜不仅工作距离更长，而且数值孔径更高；符合SEMI S2-93A,S8-95S设计；利用计算机辅助工程系统（CAE）队机身进行防震设计；具有全面的防污染措施。
NIKON集成电路检查显微镜ECLIPSE L200/D规格
| 调焦机构 | 行程29mm,粗调12.7mm/转， 微调0.1mm/转 1µm/格 |
| 反射照明器 | 12V100W卤素灯；电动孔径光阑（中心可调） 固定型视场光阑；可选配小孔光阑 |
| 透射照明器 （仅L200D） | 12V100W卤素灯；内置式孔径光阑； LWD聚光器 |
| 物镜转换器 | 固定式六孔*物镜转换器（电动），具有DIC插槽。 |
| 目镜筒 | 超宽视场可倾式三目镜筒 |
| 载物台 | 8X8载物台（205X205mm）（透射50X150mm） 粗微移动可以互相转换，X-Y方向微动手柄位置固。 |
| 目镜 | CFI目镜系列 |
| 物镜 | CFI LU/L PLAN系列 |
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