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FPANG-SRM300 薄膜厚度绘图仪mapping
高级会员第8年
经销商孚光精仪是进口精密仪器和实验室仪器设备供应商,是*基于激光和成像等光子技术分析测试仪器的规模性进口商和代理商,服务商。
孚光精仪公司以精密光学技术为特色,以光学应用为宗旨,以欧洲,北美和日本进口精密仪器为主业,为中国客户提供*分析测试仪器产品,促进光学技术产品在中国的应用和相关技术水平提升。
21世纪是光学世纪,激光,光谱,光学成像等光学技术极大地促进生物光子学,燃烧和流体力学光学诊断,光谱测试分析等学科发展和技术提升,成为前沿科学和先进制造*的分析,计量,测试和实验工具手段,因此“光学”成为“精密”的代名词,是*精密测试分析的有力实验技术。
孚光精仪公司就是这样一个以光学为特色的进口仪器和实验室设备公司,拥有齐全的进口精密(光学)仪器种类,庞大而可靠的国外生产商群体,和快捷高效的贸易体系,是用户信赖的进口分析测试技术仪器和实验室仪器的旗舰型供服务商。
公司品牌释意
孚:信服/conviction,
光:光学/optics
精:精密/
precision
仪:仪器/Instruments
我们信服于光学,致力于光学精密仪器事业。
公司价值
孚光精仪-精通光学,服务科学
经验丰富的激光和光学技术工程师帮助用户出具方案,确认适合应用的精密
光学仪器和科学仪器装置,为用户提供“舒心,省心”的进口体验。荧光光学成像仪器 (包括FRET系统,TIRFM显微镜系统, 钙成像显微镜系统,荧光寿命成像系统,生物发光和荧光发光成像系统等生物光子学仪器)
分子生物学
光学仪器( 包括凝聚成像,生物发光和荧光发光成像系统等)医用
光学仪器(内窥成像,生物活检成像,辐射成像等)光谱分析
测试仪器 (激光拉曼光谱仪, FTIR光谱仪,LIBS光谱仪等)激光粒度仪器 (基于激光和图像技术的粒度和浓度
测试仪器)光学成像仪器 (高速成像,红外热成像,X射线成像)
光谱成像系统 (包括高光谱成像,多光谱成像仪器)
燃烧和流体力学光学诊断技术和仪器 (基于激光和成像技术,融合光谱分析技术组建PIV,PLIF,温度探测,燃烧分析成像等仪器)
无损光学检测仪器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射线成像,热成像,光学内窥等仪器)
AFM, SEM,SPM等特种光学显微镜
通用
实验室仪器和设备(包含所有涉及光学技术的实验仪器)生物光子学
生命科学
医学成像
制药
食品工程
化学和化工
实验室仪器和实验室建设
流体力学
工程热物理
燃烧诊断分析
发动机研发
航空航天
地球物理科学
地质和石油勘探
半导体和微电子
先进制造
新能源
材料科学
仪器科学与技术
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客户群体
高等院校
*系统研究院所
中国国有企业及其研究院所
外资企业
高效的服务体系
总部位于上海,在上海自贸区和天津自贸区具有仓库,在香港设立贸易公司,拥有遍布全国的代理商,供应商遍布美国、德国、英国、法国、意大利、奥地利、瑞典、捷克、立陶宛、爱沙尼亚等精密仪器优势国家和地区。
公司受益于香港便捷的贸易条件以及上海自贸区和天津自贸区的高效进口程序,为客户提供高效技术仪器进口服务,为制造商提供高效出口服务。
灵活的购买方式
孚光精仪在天津和上海均有进口公司,众邦企业(天津)贸易有限公司和辅光精密仪器(上海)有限公司,具有商检,报关,进出口等高贸易资质,为客户提供优质而专业的进口服务,帮助出口商/制造商完成清关服务,并送货到用户地址。
外方经理定期来华办公指导 工作园区一角\
公司电子*门办公一角 员工文化墙一角
用户的青睐和信任
我们高效的服务和质优价廉的产品赢得了广大的青睐和信赖,成为声誉*的*产品和服务供应商。国内的科研单位多次从我公司订购各种产品。如:
*上海光机所
*西安光机所
*安徽光机所
*长春光机所
*合肥物质研究院
*物理研究所
*光电研究院
*福建物质结构研究所
中国工程物理研究院
华中光电技术研究所
中国电子集团公司53所
清华大学
北京大学
中国科技大学
哈尔滨工业大学
山东大学
武汉大学
南开大学
天津大学
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薄膜厚度绘图仪SRM是采用光谱反射仪技术的薄膜厚度分布测试仪器,可对样品面积上的薄膜厚度绘图获得整面的薄膜厚度分布和薄膜厚度均匀性参数。
这款薄膜厚度绘图仪具有较长工作距离,工作距离可调,超大样品台,可选光源等特点。
薄膜厚度绘图仪特点
使用基于Windows的软件易于设置和操作
直径达300mm的各种几何形状衬底
各种类型的映射模式,如线性、极坐标、方形或任意坐标
**的光学和坚固的设计,实现***佳的系统性能
基于阵列的探测器系统,确保快速测量
地图胶片厚度和折射率高达5层
系统配有全面的光学常数数据库和库
包括常用食谱
**的TFProbe软件允许用户为每张胶片使用NK表、色散或有效介质近似(EMA)。
可升级到具有模式识别的MSP(显微分光光度计)标测系统,或用于在图案化或特征结构上进行标测的大光斑
适用于多种不同厚度的基材
2D和3D输出图形和用户友*的数据管理界面,带有统计结果
以csv文件格式输出映射结果
系统附带长寿命灯具
所有USB通信和PC控制
薄膜厚度绘图仪应用
半导体制造
液晶显示屏测量
刑侦
生物膜测量
矿石地质分析
制药医学分析
光学镀膜测量
功能薄膜MEMS测量
太阳能电池薄膜测量
薄膜厚度绘图仪软件操作界面
薄膜厚度绘图仪软件结果
薄膜厚度绘图仪软件三维展示
薄膜厚度绘图仪参数
型号 | SRM100 | SRM300 | SRM500 |
探测器类型 | CCD or CMOS Array | CCD or CMOS Array | CCD or CMOS and InGaAs Array |
波长范围 | 190-1100nm | 370-1100nm | 190-1700nm |
波长精度 | 0.01-3nm | 0.01-3nm | 0.01-3nm |
可测薄膜厚度范围 | 5nm-50 µm | 20nm-1000 µm | 5nm -1000 µm |
厚度精度 | < 1Å (1 sigma from 50 thickness readings for 1500Å Thermal SiO2 on Si Wafer) | ||
样品台 | 黑色阳极氧化真空吸盘,典型的Rho Theta,尺寸紧凑,200mm、300mm或根据要求定制尺寸 | ||
工作距离 | ~ 20mm (从晶圆表面计算) | ||
测量时间 | 0.1ms-10s, 用户可定义 | ||
用户设置功能 | 波长范围、波长点、积分时间、光谱平均数、平滑因子 | ||
通讯接口 | USB | ||
操作系统 | Both 32bit and 64 Bit, Win XP, 7, 8, 10 | ||
计算机***低配置 | Intel i3 or above with minimum 500 MB space, 4GB RAM | ||
供电要求 | 110– 240 VAC /50-60Hz, 1.5 A | ||
光源 | Deuterium + Tungsten Halogen | Tungsten Halogen | Deuterium + Tungsten Halogen |
光源强度 | Adjustable | Adjustable | Adjustable |
灯泡寿命 | 4000 hrs. | 10000 hrs. | 4000 hrs. |