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全自动硅片甩干机厂家

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山东济宁鲁超超声设备有限公司

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硅片甩干机

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无损检测仪器有:涂层测厚仪、电火花检测仪、超声波测厚仪、超声波探伤仪等。  功率超声设备有:超声波清洗机、超声波清洗流水线、甩干机、超声波洗瓶机、超声波中药处理机、超声波胶塞清洗机、超声波滤芯清洗机、超声波乳化器等。

    本公司座落在孔孟之乡的历史名城--济宁,是研制和生产功率超声清洗设备和无损检测仪器的技术企业。拥有十几年生产超声波清洗设备的先进经验,高素质的公司员工,先进的管理理念,技术力量雄厚,加工检测设备精良,生产功率超声清洗设备和无损检测仪器两大门类五十多个品种的超声仪器。近年来与清华大学、山东大学等高校建立了合作关系,使公司产品在同行业中保持技术超先水平。  

     半导体设备有:晶片全自动超声波清洗机、硅片扩散清洗机、晶片(硅片)腐蚀机、全自动甩干机、蓝宝石片全自动超声波清洗机、多槽式半自动超声波清洗机等。

 制药行业设备有:超声波滤芯清洗机超声波洗瓶机、轧盖机、灌装机、超声波中药处理机、超声波胶塞清洗机、超声波乳化器、移动高压清洗机、铝桶清洗机等。

 功率超声设备有:超声波清洗机、零配件超声波清洗机、汽车缸体(发动机清洗机、机械零部件全自动清洗机、超声波钢筘清洗机、超声波清洗流水线

 无损检测仪器有:电火花检测仪、涂层测厚仪、超声波测厚仪、湿海绵针孔检测仪、超声波探伤仪、磁粉探伤仪、硬度计、粗糙度等。  

    本公司坚持“以质量求生存、以科技求发展、以服务赢客户”为宗旨,严格按照ISO9001质量体系的要求组织产品的生产和销售。以全新的经营理念、充満活力的高素质的员工,竭诚为各方宾朋服务。本公司承诺无论各种品牌的超声仪器,我公司都提供免费的维修服务。  

    欢迎各界朋友来我公司考察、洽谈业务!




详细信息

全自动硅片甩干机是一种专门用于半导体制造过程中的高精密设备,主要用于清洗和干燥硅片。这种设备通过自动化的流程,能够高效地去除硅片表面的水分和其他残留物,确保硅片的清洁度和干燥度,从而满足后续工艺的要求。

全自动硅片甩干机

 

主要特点:

彩色液晶触摸屏实时监控,可存储多种工艺菜单

腔体和转架采用316不锈钢,电化学抛光处理

去离子水电阻率监控功能

无刷电机驱动

氮气温度控制

转轴氮气密封

具有锁盖防护功能

故障诊断、显示、报警功能

可提用户特殊要求配置

采用高洁净度的旋转冲洗甩干功能,能够适应不同直径和形状的片式材料的清洗需求

设备设计可以适应不同直径的硅片,包括方形和其他特殊形状的材料。

采用全自动控制,包括去离子水冲洗和加热的氮气干燥,实现晶片衬底后的湿化学方法的自动化处理

设备具备多项技术性能指标,如电源电压、频率、功率、绝缘电阻等,确保操作的安全性和稳定性

包括使用氮气和去离子水的相关安全性技术要求,如压力、耗量、接口管径和过滤精度等

部分设备采用PLC和触摸屏控制,实现整个过程的智能化,具有故障实时显示和报警功能

设备设计考虑了节能和效率,例如,整个甩干过程一般只需5-6分钟

主要部件采用耐腐蚀不锈钢,并进行电化学抛光处理,以提高设备的耐用性和清洁度

旋转机构经过精密动平衡处理,保证工作时的平衡性,并采用特种减振器以实现精密减振和阻尼

设备支持多种硅片规格、不同尺寸的掩模,满足不同应用需求。

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