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BG-3 硅外延用氢气纯化器
初级会员第7年
生产厂家一、用途
硅外延用氢气纯化器引进*技术,为国内各企业生产的硅片提供了高效有力的支持,氢气的纯度直接影响硅片的质量,硅外延氢气纯化器利用钯扩散原理是氢气纯度提高到99.9999%以上,从而有效提高硅外延的质量,钯扩散提氢成为氢气纯化当中较好的,为各大专院校、科研单位、石油化工、轻工、电子、制药、环保监测、医疗卫生等单位,化验室、实验室、分析室,提供粗氢精制成高纯氢而研制的一种数控钯扩散纯仪。
二、主标要技术指标:
氢气纯度:99.9999%,
大纯化量:5-15立升/分钟
原料氢压力:≤0.8MPa
纯化氢压力:可调
原料氢含氢量:不小于50%
高使用温度:≤400℃
三、工作原理
氢分子和氢原子是所有化学元素中zui小的分子和原子,如把钯的单晶结构考虑成为面心立方体,立方体的八个角为八个钯原子所占有,六个面的中心部分为六个钯原子所占有,在这个钯原子的密集堆积中,只有在钯管表面能发生离解的氢原子才能通过,而其它元素的原子和分子,其直径都大于钯原子密集堆积的间隙,故不能通过。钯扩散法纯化氢就是利用这个原理,扩散透过钯管的氢,其纯度*。
四、硅外延用氢气纯化器注意事项:
在使用时,装置应放在通风良好,坚固平坦的工作台上,以防震动,切忌室内氢含量达到燃烧或爆炸极限(不能高于4%),本仪器的控温部分设有超温报警功能,当温度超过所需温度时,会发出报警声,应立即停机检查,以防炉内温度过高而烧坏钯管,本仪器使用前必需用原料气作置换系统后,才能通电,以防系统内置换不干净,形成易燃易爆的H2—O2混合气。