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压电旋转平台

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上海昊量光电设备有限公司

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上海昊量光电设备有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
专业源自专注  专注成就未来

自2008年成立以来,昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销,致力于引进guo外*先进性与创新性的光电技术与可靠产品,为国内Z前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务,助力中国智造与中国创造! 目前,昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等,所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。

昊量光电坚持“专业源自专注,专注成就未来”的经营理念。近年来,我们专注于前沿的细分市场,为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等领域的客户提供系统解决方案。

作为一家以技术沟通与技术服务见长的高科技企业,我们所有的销售与技术服务团队成员都具有理工科方面的专业背景,并在公司接受相关领域的专业培训,在售前技术沟通、售后产品安装培训、产品问题解决、软硬件增值服务等方面为客户提供更加专业化的服务!我们专业高效的商务与物流部门凭借多年积累的贸易经验与规范化的制度流程,保障每一笔订货准时安全到达目的地,免除客户的后顾之忧!

秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观,昊量光电坚持以诚信为基石,凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值,实现各方共赢!

立足于光电产业,昊量光电始终坚持价值创造与创新,赢得客户与合作伙伴的认可,不断拓展业务领域的新边疆,立志打造的代理服务品牌!

 

详细信息

AU-XRT系列压电旋转台是一款紧凑的高精度的旋转平台。该系列旋转台采用轴承技术,使压电旋转平台的径向、轴向和倾斜方向上的旋转误差都非常的小。这使的该系列旋转台成为市面上zui精确地产品。该系列平移台由滑块驱动和超声波马达两种驱动方式,可进行连续旋转,对角度无限制,并且集成了光学编码器闭环控制,使压电旋转台拥有*的分辨率和可重复性。

上海昊量光电设备有限公司推出的压电旋转台按照使用马达的不同可以分为两类。

1)使用超声波马达驱动的旋转台,AU-XRT-U系列。

AU-XRT-U系列是由超声波压电马达驱动的紧凑而精确的旋转台。其与空气轴承旋转台拥有相媲美的旋转精度和误差但是却拥有更小的体积和更低廉的价格。与其它压电技术相比超声波压电电机拥有更长的使用寿命、更低的功耗并且无噪声。并且集成了光学编码器闭环控制,精度zui高可达到0.0002°,速度zui大可达到1080°/s。该系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40两款旋转台。

 

Fig1 运动误差测量

Fig2 AU-XRT-U

 

2)滑块式压电马达驱动旋转台AU-XRT-A.

AU-XRT-A采用滑块式压电马达驱动,利用轴承技术,即使在旋转过程中也可以主动将径向误差运动补偿,这使得其成为市场上*的zui为精确的压电旋转台,AU-XRT-A的径向误差小于500nm,可以与空气轴承精度相媲美,并且体积紧凑价格低廉,并且可以提供真空和磁性应用的产品。

Fig3. 运动误差测量

Fig4.AU-XRT-A旋转台

 

 

主要特点

l  高精度(200μ°)

l  高速度(1080°/s)

l  可在真空10-6mbar和磁性(1.5T)条件使用

主要应用

l  微型CT扫描仪

l  X射线衍射系统

l  电子显微镜

l  同步加速器

l  计量学

 

产品参数:

 

AU-XRT-U30

AU-XRT-U40

AU-XRT-A

Drive   principle:

ultrasonic   piezo motor

stick-slip

Radial   error motion:

<   5 µm (-SB) or < 1 µm (-PB)

down   to 500 nm

Axial   error motion:

<   3 µm (-SB) or < 0.5 µm (-PB)

<   1 µm

Tilt   (wobble):

<   50 µrad (-PB)

<   100 µrad

Load   capacity:

<   1 kg

≤   1 N (100 g)

Aperture:

7mm

10   mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor

 

Driving   torque:

14   Nmm

20   Nmm

 

Holding   torque:

7   Nmm

10   Nmm

 

Speed:

from   8 m°/s up to 3 rev/s

±   2 rpm

Resolution:

6.25   m° (-S)

6.25   m° (-S) or 200 µ° (-P)

6.25   m° (-S)

 

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