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HORIBA GD Profil 射频辉光放电光谱仪（GD）
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- HORIBA GD Profil
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上海巨纳科技有限公司是巨纳集团旗下科学仪器事业部。巨纳集团SUNANO GROUP产业格局包括新能源业务、通信业务、现代贸易业务、微纳米业务、科研检测业务、投资管理业务等。旗下上海巨纳科技有限公司是集多种高科技产品的研发、生产、销售为一体的企业，同时是多家世界高科技公司在中国的总代理。2015年起正式并入巨纳集团科学仪器事业部体系并作为其大陆运营主体。
巨纳集团科学仪器事业部，主要致力于研究开发和整合仪器设备，从事表面科学、分析仪器、生命科学设备、光伏设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销；为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案，已经成为了众多高校和企业的优质供应商。
近年来巨纳集团科学仪器事业部先后收购了高纯水机、光学平台、真空干燥箱等制造企业，创立了SUNANO、NextCVD、低维材料在线91cailiao、FIPHENE、GRCC等品牌，并与韩国Nanoscope System、日本HORIBA、英国Oxford Instruments、美国CRAIC、法国PhaseView、瑞士LynceeTec等品牌深入合作，加强了公司产品的多样化。
巨纳集团科学仪器事业部为您的研究与分析提供先进工具与解决方案：
光学光谱·分子光谱·元素分析·表面测量·颗粒表征·光学平台·激光共聚焦显微镜·激光荧光共聚焦显微镜·共焦激光拉曼光谱仪·便捷式激光拉曼光谱仪·椭圆偏振光谱仪·激光粒度仪·多功能宽密度等离子体ICP-LP-PE-CVD·碳/硫分析·氧/氮/氢分析·等离子体发射光谱仪·辉光放电光谱仪··全息数字显微镜··高纯水机··各类干燥箱/培养箱/离心机/搅拌器/高速分散器/水浴锅/振荡器/低温槽/加热槽·低维材料等。
韩国Nanoscope Systems是激光共聚焦显微镜开发商和制造商，拥有微纳米尺度上的光学表面测量技术，主要产品激光共聚焦显微镜和激光荧光共聚焦显微镜广泛用于工业领域和科学研究中的三维测量和检查，为三星、LG、SK海力士、韩华集团、V-technology等世界企业提供精密的解决方案。作为共聚焦显微技术的开发者和提供者，韩国Nanoscope System致力于以更高的分辨率、更高速度的三维测量的新技术。 除了半导体、FPD、MEMS、OLED、太阳能、材料等领域，加上荧光和热反射功能，在生物、化学和医疗领域也有出色的应用。巨纳作为韩国Nanoscope System在中国区域的总代理，全面负责经营销售及售后服务等业务。
详细信息
解密镀层工艺、解析镀层结构——Profiler 2
辉光放电光谱仪是解密镀层工艺、解析镀层结构的强有力手段，可以通过元素变化获得镀层结构、层间扩散、元素富集、表面处理、镀层均一性等信息，从而改善工艺条件等。主要应用行业有金属冶金、半导体器件、LED芯片、薄膜太阳能电池、锂电池阴阳极、光学玻璃、核材料等。
GD-Profiler 2 作为超快镀层分析的理想工具，非常适合于导体和非导体复合镀层的分析，操作简单、便于维护，是镀层材料研发、质控的理想工具。
· 使用脉冲式射频辉光源，可有效分析热导性能差以及热敏感的样品。
· 采用多项技术，如高动态检测器（HDD），可测试ppm-100%的浓度范围，Polyscan多道扫描的光谱分辨率为18pm~25pm等。
· 分析速度快（2-10nm/s）
技术参数：
1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑极为平坦、等离子体稳定时间极短，表面信息无任何失真。
2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜，也可以很好地分析热导性能差和热易碎的涂/镀层和薄膜。
3、Polyscan多道（同时）光谱仪可全谱覆盖，光谱范围从110nm-800nm，可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl。
4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器拥有最大的光通量，因而拥有的光效率和灵敏度。
5、高动态检测器（HDD）可快速、高灵敏的检测ppm-100%含量的元素。动态范围为5×1010。
6、宽大的样品室方便各类样品的加载。
7、功能强大的Quantum软件可以灵活方便的输出各种格式的检测报告。
8、HORIBA*的单色仪（选配）可极大地提高仪器灵活性，可实现固定通道外任意一个元素的同步测试，称为n+1。
9、适用于ISO14707和16962标准。
仪器原理：
辉光放电腔室内充满低压氩气，当施加在放电两极的电压达到一定值，超过激发氩气所需的能量即可形成辉光放电，放电气体离解为正电荷离子和自由电子。在电场的作用下，正电荷离子加速轰击到（阴极）样品表面，产生阴极溅射。在放电区域内，溅射的元素原子与电子相互碰撞被激化而发光。
