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RMS-1000P RMS-1000P高温四探针测量系统
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生产厂家佰力博科技(Partulab Technology Co. Ltd)(www.partulab.com),位于中国光谷武汉东湖*开发区,主要涉及真空、高低温、磁性、电学测量等领域,是材料物理性能表征和测量行业品牌。Partulab 一词,演化自“Partner in Your Lab”,寓意为科学研究的事业合作伙伴。秉承“科研创新,相伴成长”的品牌理念,佰力博科技不断的为科研人员提供更优质、*性价比的产品和服务。
佰力博科技的核心价值,在于时刻洞察市场需求,为材料物性测量带来精确可靠的数据结果;在于深入了解研发和应用双向需求,为科学工作者、科研实验室定制更为*的物性检测解决方案,为客户发明创造的成功、科技成果的展现奠定坚实基础。作为国内从事高低温环境下材料物理性能表征研究的科技企业,佰力博科技*了国内设备制造商的空白,以*和先锋者的决心,为中国在本领域的自主创新能力超越*水平而不断拼搏。佰力博科技拥有*的研究开发队伍、丰富的资料数据库、安全稳定的生产体系与完善的质量保证体系,我们的客户已经涵盖航空航天、*、电子、科研院所及*。
佰力博科技,科研事业的合作伙伴。
Partulab RMS-1000P高温四探针测量系统主要用于评估半导体薄膜和薄片的导电性能,该系统采用直排四探针测量原理和单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计研发,可以实现高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗 单晶(棒料、晶片)电阻率和硅外延层、扩散层和离子注 入层的方块电阻以及测量导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻和电阻率。该系统广泛应用于高校科研院所和企业单位半导体薄膜和薄片材料电学性能研究。
技术规范:
测量温度:RT-1000℃ | 测量组合:四探针双电测组合测量 |
升温斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min) | 样品尺寸:φ15~30mm,d<4mm薄片或薄膜 |
控温精度:±0.5℃ | 电极材料:碳化钨针 |
电阻测量范围:0.1mΩ~1MΩ | 针尖绝缘电阻:≥1000MΩ |
电阻率测量范围:0.01mΩ.cm~100KΩ.cm | 绝缘材料:99氧化铝陶瓷 |
电导率测量范围:0.00001s/cm~100000s/cm | 供电:220V±10%,50Hz |
功能特点:
★ 高温炉膛、测量夹具、显示及软件集成于一体,测量精度更高,仪器更加稳定且易维护;
★RMS系列机型采用RAM嵌入式开发平台,可以进行在线升级、远程协助及故障诊断;
★多功能真空电学加热炉可实现高温、真空、气氛测量环境;
★ 炉膛采用进口金属材料,耐高温、抗氧化,可实现多种环境下的电学测量;
★采用三段PID精确控温,实现不同温度区间的精确控温,控温精度达到±0.5℃;
★炉膛升温故障诊断监控设计,随时监测炉膛运行情况