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KeysightB1500A KeysightB1500AMFCMU和SCUU进行IV和CV测量
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经销商公司简介
深圳佳捷伦电子仪器有限公司(CGILENT EIECTRONICSTRUMENT CO.,LCD),简称佳捷伦(CGILENT),于2003年在深圳成立。佳捷伦总部设在电子中心-深圳华强北科技大厦,并在深圳、东莞、苏州、上海等地设有分支机构。拥有一支专业的合作团队:资金雄厚,货物来源宽广,库存充足,销售市场广泛,售后服务快捷。通过与分销伙伴的紧密合作,凭借覆盖全国的网络营销服务,致力于为客户提供专业、方便、快捷的本地化服务。目前已经成为中国仪器行业中较大的产品经销商、仪器集成商和综合服务商之一。
佳捷伦主要经营的品牌有美国安捷伦Agilent/惠普Hewlett Packard、美国泰克Tektronix、美国福禄克Fluke、美国鸟牌BIRD、美国艾法IFR/马可尼Marconi、日本安立Anritsu、日本爱德万Advantest、日本松下Panasonic、日本建伍Kenwood(现改为德士TEXIO)、日本菊水KIKUSUI、日本横河YOKOGAWA、德国罗德&施瓦茨R&S、德国宝马PROMAX等世界。主要销售的产品名称有:光学仪器(光谱分析仪、光功率计、光源、光万用表、光示波器等)、网络分析仪、频谱分析仪、(手机/无线)综合测试仪、天馈线测试仪(驻波比测试仪)、信号发生器、LCR测试仪、示波器、电源、频率计、功率计、音频分析仪等高频仪器仪表。
佳捷伦*致力于工业电子制造、文教科研、通信以及电力石化等领域的测 试测量技术开发、产品配套和系统集成。佳捷伦能够根据客户的使用需求,为客户提供各种针对行业应用的完整测试解决方案,同时可以为国内客户提供通行的电子测试仪器租赁解决方案。我们的客戶涉及工业电子制造、文教科研、通信以及信息技术、微电子、生物制药等多个领域,遍及世界各地。佳捷伦也已成为中国*的集电子仪器销售、维修、租赁、计量为一体的综合服务商之一。
以科技铸就信赖、以技术服务社会。佳捷伦秉承“诚信*,用户上”的原则,以科技铸就品牌的理念、以品质开拓市场,竭诚为海内外客户提供优质的服务。为客户提供“更丰富的产品选择、更经济丰富的产品选择、风经济的解决方案,更全面的专业服务”,致力于保持并始终成为中国本行业中的*和leader。
是德科技使用KeysightB1500AMFCMU和SCUU进行IV和CV测量
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深圳佳捷伦电子仪器有限公司
负责人:雷S/欧阳R
TEL:138----2659----6538(同微)
地址:深圳市龙岗区平湖街道平新北路163号广弘星座B栋12楼
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详细资料可加WeChat:Cgilent2018(雷依婷)
KeysightB1500AMFCMU和SCUU进行IV和CV测量
Keysight B1500A 半导体器件分析仪
参数表征既需要进行电流-电压 (IV) 测量,也需要进行电容-电压 (CV) 测量。目前开发的制程
技术通常需要通过单通道对晶圆上器件进行精确的 IV 和 CV 测量。Keysight B1500A 半导体器件
分析仪在单台主机中使用一个新的单插槽多频率电容测量单元 (MFCMU) 和两个 SMU 单元,能
够支持单通道的 IV 和 CV 测量。
在一个探头台上完成 IV 和 CV 这两种测量并不容易。基于 SMU 的 IV 测量采用三轴连接头,而
基于 CMU 的 CV 测量则使用 BNC 连接头。这两种测量间的切换是繁杂和费时的,并且很容易造
成错误测量。例如,当通过手动切换测量电缆时,需要同时保持在晶圆上的探针不变。在这种情
况下,当切换电缆时,摩擦产生的电荷就有可能损坏器件。除电缆连接问题外,为得到精确的测
量结果,还必须正确设置与电容测量相关的误差补偿参数。
B1500A 的 SMU CMU 复合单元 (SCUU) 解决了这些测量问题。SCUU Keysight B1500A 半导体器
件分析仪能够执行精确的 IV 和 CV 测量并能在两者之间轻松切换,从而节省了购置复杂的外部
开关矩阵仪器的开支。
这篇应用指南介绍如何用 B1500A 容易地配置精确的 IV 和 CV 测量系统。
Keysight B1500A IV/CV 解决方案
图 6 显示 B1500A 用于 IV 和 CV 测量间
切换的基本电缆配置。B1500A 的 SCUU
可以在不降低测量精度的前提下切换 IV
和 CV 测量,您可通过 1.5 米或 3.0 米电
缆把 SCUU 安装到晶圆探头上。SCUU
上的测量电缆用两条三轴电缆或两对
Kelvin( 施加和传感 ) 三轴电缆延长到晶圆
探头机械手,以满足 IV 和 CV 测量的要
求。对于 IV 和 CV 测量,三轴电缆的中
心信号线接到测量探针的中心导体,三轴
电缆的驱动保护端则接到测量探针的外
部屏蔽端。通过把外部屏蔽端接到测量探
针保护端来防止外部噪声。
正如图 5 所示,探头机械手 CH 和 CL 测
量端的保护端在每条同轴测量电缆的末
端短路到一起,以便建立精确的 CV 测量
系统。B1500A 的保护开关单元 (GSWU)
用于在进行 CV 测量时短路测量电缆的保
护端。GSWU 开关在 IV 测量时自动开路,
以防止对 SMU 的可能损害,否则两个
SMU 的保护端 ( 可能处于不同电位 ) 将发
生短路。
即使您使用 Kelvin 三轴电缆连接 SCUU
和探头机械手,只要电缆不是太长,它
也不致于影响测量精度。您需要做的就
是建立这一简单的连接系统,用内置于
B1500A EasyEXPERT 软件的开路 / 短路
和 ( 可选 ) 负载补偿程序收集和保存剩余
误差部分的数据。
EasyEXPERT 软 件 通 过 控 制 GSWU 处
理所有 IV-CV 切换和误差补偿,同时
还处理电容测量的电流返回路径问题。
EasyEXPERT 软件提供 100 种以上的 IV
和 CV 应用测试。您只需选择一种 CV 算
法,按一个按钮即开始进行精确的 CV 测
量。如果您使用 SCUU,就可把 CV 测量
的直流偏置电压扩展到 ±100 V,这已经
远远超出 MFCMU 的固有 ±25 V 能力。
在配置 SCUU 的情况下,通过把 SMU 接
到 SCUU,即可自动提供 ±100 V 的直流
偏置。
我们的优势:
品种齐全,货源充足,存库雄厚,服务快捷,维修能力强。
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我公司对销售的仪器仪表均负责保修一年.
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