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TEM-100系列 TEM过滤器GasPro TEM-160-24用于半导体行业

型号
TEM-100系列
参数
丝网型式:其他 应用领域:环保,电子,冶金,电气,综合
上海慧之康工业设备有限公司

中级会员7年 

经销商

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进口工业设备,仪器阀门,流量计,等

上海慧之康工业设备有限公司在货源可靠的同时,为客户提供贴心的服务、短的货期以及便宜的价格,我们坚持以高的效率帮来自全国各地的客户解决欧洲进口产品采购问题。以准确又迅速地将每一名客户的要求传达到国外原厂销售人员。

专业从事国内外货物与技术进出口贸易,致力于阀门,泵,电气自动化、气动液压、仪器仪表等产品在中国的推广、服务与销售。所有进口产品不需要拼单,货期可靠,全程空运从国外厂家采购到国内供货一站式服务,为您省心省力,并且提供全额保障,如您在我司订购的产品中间出现任何意外,本司都会全额负责赔偿,将您的风险放在低。所以,相信合作过一次的客户,都会继续信赖于我们,希望能与更多的进口件需求商结缘,一起共赢。对于不太容易找到的德国及欧洲小品牌的工业产品,我们可以帮助您寻找并代为采购,为本公司直接供货的欧洲中小企业已达1000多家。我们的产品已广泛应用于冶金、造纸、矿山、石化、能源、集装箱码头、汽车、水利、市政工程及环保等工业领域以及各类军事、航空航天、科研等领域。主要产品有: NASON纳森,Nor-Cal阀门,力士乐REXROTH,ATOS阿托斯,英国ROXSPUR




详细信息

TEM过滤器GasPro  TEM-160-24用于半导体行业

GasPro TEM-100系列

电抛光外壳过滤器组件具有15Ra电抛光316L不锈钢外壳,防止腐蚀和腐蚀粒子在内表面上堆积。

包装外清洁度我们的加斯普罗? 清洁TEM-100过滤器,并在无尘室内包装,不含有机成分处理包装外、无颗粒和无化学品清洁度。终组件被清除用过滤氮气进行初始清洁。附加的预处理是可选的。

多种配件选项,便于安装标准配件选项包括端面/垫片密封,压缩、对焊和NPT。特殊配件,包括三夹(三叶草)卫生和法兰类型,可根据要求提供。

氦泄漏测试所有装置均以1x10-9 atm cc/秒的速度进行测试。

零件号、入口/出口配件、过滤介质/外壳、其他材料、长度(L)

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不锈钢钢聚丙烯

氟橡胶密封件*899.9毫米(35.43英寸)

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0”)

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25”)

TEM-160-24 1.5“三夹端889 mm(35.0”)

GasPro 过滤器TEM-150-24技术规格

GasPro?TEM-100在线高流量ePTFE滤器TEM-128-24

GasPro?TEM-100系列滤光片的设计波长为3 nm颗粒截留率高达300 scfm,以及温度敢达80C(176°F)。ePTFE膜(2.04m2/22.0平方英尺)带着

聚丙烯支撑结构封闭在不锈钢316L外壳,具有的流动性和稳定性耐化学性。使用标准Viton o形圈(其他o形圈材料可在重新测试时获得)。TEM过滤器GasPro  TEM-160-24用于半导体行业

应用

?一般和工艺惰性气体设施半导体、平板显示器和其他高纯度应用。

?用于关键平板工艺的气体,包括衬底退火。

?关键工艺的清洁干燥空气,包括:前开口统一吊舱(FOUP)清洁和安装光刻。

规格

?过滤等级我们的多孔ePTFE滤光片可提供有效的3纳米滤光片颗粒保留。

?高工作温度*80摄氏度(176华氏度)。

建议更换:在69C(156°F))以上运行6个月。

?大工作压力在20°C(68°F)条件下为17.2bar(250 psig)。

?大正向流量压差

20?C(68?F):6.0bar(87磅/平方英寸)

80?C(176?F):4.0bar磅/平方英寸)

 

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丝网型式 其他
应用领域 环保,电子,冶金,电气,综合
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