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HVS-03G高真空分子泵系统
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产品型号 | HVS-03G高真空分子泵系统 |
主要特点 | HVS-03G分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理,利用机械泵、涡轮分子泵组合成真空获得系统,具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等。 |
技术参数 | 1、分子泵机组极限真空度(空载):≤9×10-5Pa 2、真空系统漏率:≤5×10-9PaM3/s 3、电源:220v±10/50Hz 4、电源插头:16A 5、冷却方式:水冷或风冷(环境温度5-40℃) 6、平台承重:≤100kg 7、真空规参数:ZDF-11A2 测量范围:1.0×105 ~1×10-5Pa 配接规管:ZJ-52T一只,ZJ-27一只 |
注意事项 | 1、拆开包装箱,将设备从箱体中取出,检查设备有无损坏,将设备的电源线接好,检查地线与设备是否接好。 2、在接入供电电源时,务必要确认是否和设备要求的电源电压相符。 设备安装应在平地上,竖直方向上与垂直方向上与垂直方向夹角小于5°。安装后要固定脚轮。 3、机械泵的排气口必须顺畅,不得在封堵排气口情况下启动泵。 4、机械泵在运转前检查油位,不要在泵没有加油或缺油的情况下使用否则会造成泵的失效。 5、观察机械泵油颜色,正常泵油是清洁和透明的;若泵油颜色变暗火浑浊时需要换油。切勿在泵温较高的情况下换油,必须等泵冷却到低于50℃的温度时方可换油。 6、分子泵正常运转时,请尽量避免在泵体及控制器附近施加比较大的或是频繁的震动,避免冲击钻作业和任何会产生较大磁场的作业。 7、启动分子泵前,系统压强≤100 Pa。 |