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BW-M7000 CNC尼康显微镜1pm高分辨率光干涉
- 型号
- BW-M7000
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光学测量仪，三维表面测量仪、轮廓仪、激光共聚焦显微镜、非接触式三维形貌测量仪、白光干涉仪、全自动影像测量仪、工业CT、扫描电镜、尼康显微镜
上海曼戈斐光学技术有限公司(Megphy)是一家专业从事代理光学测量仪器的公司。代理品牌主要有美国Solarius、德国NanoFocus等，产品涵盖共聚焦显微镜、三维表面测量仪、全自动影像测量仪、光学显微镜等。
我们的主要产品：NanoFocus、Solarius系列，主要是通过共聚焦技术实现产品表面的高精度测量。我们的设备主要应用于电子与半导体、汽车工业、能源技术、印刷和造纸工业、安全技术、医疗技术、微系统、机械加工技术以及材料科学等。
公司由具备多年专业化水准，熟悉行业应用并具备创造精神的技术人员、营销人员组成，致力于为用户提供高效、合适的解决方案以及优质的售前、售中和售后的全程服务，包括产品检测、专业的产品咨询、设备安装调试及培训、售后一年内免费的保养维护以及维修服务，至今赢得了众多企业的信赖和支持！
详细信息
尼康旗下的NIKON INSTECH公司(总部：东京)将推出高度分辨率达到1pm的光干涉显微镜系统“BW-M7000”(图1)。该系统可高速高精度测定高度范围从亚纳米级到毫米级的表面性状(材料表面图案及粗糙度、表面上的微小落差等)。
表面性状测定采用尼康自主开发的方式——“FVWLI(Focus Variation with White Light Interferometry)法”。该方法可使对象材料的表面生成干涉纹，高精度决定各像素的焦点位置。通过使用这种方式，可在2.5倍(视野4.4×4.4mm)至100倍(视野111.0×110.0μm)的所有倍率下实现三维算数平均高度(Sa)为0.1nm级别的表面性状评估。能够以单一模式测定超平滑表面到粗糙表面，无需更换光学滤光片等部件。另外，在测定膜厚时使用光谱干涉法。能以不到0.1秒的时间测定厚度为1nm～40μm的透明薄膜的厚度。
可通过程序控制手段实现全自动测定，能够自动实施对焦、调整样品的倾斜、判断是否合格等操作。可自动测定多个视野，除了材料研发一线之外，还可轻松用于品质管理及*现场。
CNC尼康显微镜BW-M7000显微镜配备最大行程为300×300mm的电动XY轴载物台，以及最大行程为200mm的电动Z轴变焦载物台。可测定半导体、LED、薄膜材料、高分子材料、精密机械加工部件等多种样品(图2、图3)。在测定钻头*的表面形状时，可用夹具保持其直立固定状态。
