日本三丰显微镜VMU-V 378-505 

使用示例：半导体、电子、液晶相关等产品的生产 品质管理系统、实验研究装置使用的光学系统 外观检查系统的嵌入式光学单元 微生物等运动物体的观察 等

可安装数码相机，通过外部显示器进行观察和拍摄。 可实现横向水平、上下颠倒等高自由度的固定方法。 与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。 ★金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄 ★微量流体分析用光学系统 ★以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统

VMU

378 系列 — 视频显微镜系统

显微镜单元 物镜(紫外、近紫外、可视、近红外)

紧凑轻量型显微镜，相机观察型。适于

检测金属表面、半导体、液晶面板、树脂等。

• 多种镜体通常用作适用于专业器械的OEM

(原厂委制) 产品，如那些利用YAG (近红外、

可见、近紫外或紫外) 激光* 对半导体晶片

进行检测和修补的设备。

* 不保证激光系统产品的性能和安全性。

应用：切割、修整、校正、 给半导体电路做

标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色

滤光器的修复 (校正错误)。还可用作光学观

察剖面图以便探头分析半导体故障。

• 对于VMU-LB 和 VMU-LB， 显微镜主件的刚度

和总体性能与之前的型号相比已有所提高。

• 应用*: 晶体硅的内部观察、红外光谱特征

分析等。

* 需要红外光源和红外摄像机。

• 配有孔径光阑的远心光学系统是表面照明

光学系统上的标准配件。于需要均匀

照明的图像处理。可用于尺寸测量、形状

检验、定位等。

• 设计和制造均能满足您的需求，如双摄影

机架、双(低/ 高) 放大率观察

 VMU-V

 378-505

Mitutoyo三丰显微镜单元

日本三丰物镜(紫外、近紫外、可视、近红外)

用于半导体、电子、液晶相关等产品的生产

品质管理系统、实验研究装置使用的光学系统

外观检查系统的嵌入式光学单元

微生物等运动物体的观察　等

可安装数码相机，通过外部显示器进行观察和拍摄。

可实现横向水平、上下颠倒等高自由度的固定方法。

与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。

　★金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄

　★微量流体分析用光学系统

　★以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统

M Plan Apo NIR系列等支持红外区的物镜组合，可在红外线下实

现可见光下做不到的非破坏性检查。

　★液晶薄膜、硅基板等的厚度测量

　★MEMS内部的非破坏评价、三维安装评价

　★半导体封装(IC)的内部观察、晶圆键合空洞评价传感器

　★红外分光特性分析

通过VMU-LB和固定倍率观察用相机卡口的

组合，能够对同一位置以不同倍率同时观

察。

(低倍率侧：2/3型、高倍率侧：1/2型等)

通过与YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物镜组合，可实现高精度、高

品质加工。

与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。

　★保护膜、有机薄膜等的剥离

　★金、铝等金属配线切割、下层图案的外露

　★FPD的各种缺陷修正

　★光掩模修正

　★标记、修剪、图像形成、局部退火、划线

凭借长动作距离设计的物镜，实现优异的操作性。

与定位器、探针台等组合。

通过与激光加工装置组合，还可支持不良分析→部分修正无缝衔接的系统。

此外，还提供支持隔着玻璃的、真空内的外观检查的系统

日本三丰Mitutoyo 378-888-6物镜M Plan Apo NUV HR 50X

日本三丰Mitutoyo 378-868-5 50X物镜M Plan Apo NIR B

日本三丰Mitutoyo 378-867-5 20X物镜M Plan Apo NIR B

日本三丰Mitutoyo 378-864-5 100X物镜M Plan Apo NIR HR

日本三丰Mitutoyo 378-863-5 50X物镜M Plan Apo NIR HR

日本三丰Mitutoyo 378-848-3 50X物镜G Plan Apo

日本三丰Mitutoyo 378-847 20X物镜G Plan Apo

日本三丰Mitutoyo 378-846-7 100X物镜BD Plan Apo HR

日本三丰Mitutoyo 378-845-7 50X物镜BD Plan Apo HR

日本三丰Mitutoyo 378-844-15物镜M Plan UV 10X

日本三丰Mitutoyo 378-843-7 100X物镜BD Plan Apo SL

日本三丰Mitutoyo 378-843-5 100X物镜BD Plan Apo SL

日本三丰Mitutoyo 378-842-7 80X物镜BD Plan Apo SL

日本三丰Mitutoyo 378-841-7 50X物镜BD Plan Apo SL

日本三丰Mitutoyo 378-840-7 20X物镜BD Plan Apo SL

日本三丰Mitutoyo 378-840-5 20X物镜BD Plan Apo SL

日本三丰Mitutoyo 378-839-5物镜M Plan UV 80X

日本三丰Mitutoyo 378-838-8物镜M Plan UV 50X

日本三丰Mitutoyo 378-837-8物镜M Plan UV 20X

日本三丰Mitutoyo 378-837-7物镜M PLAN UV BF 20X

日本三丰Mitutoyo 378-836-7 100X物镜BD Plan Apo

日本三丰Mitutoyo 378-835-7 50X物镜BD Plan Apo

日本三丰Mitutoyo 378-834-7 20X物镜BD Plan Apo

日本三丰Mitutoyo 378-833-7 10X物镜BD Plan Apo

日本三丰Mitutoyo 378-832-7 5X物镜BD Plan Apo

日本三丰Mitutoyo 378-831-7 2X物镜BD Plan Apo

日本三丰Mitutoyo 378-830-7 7.5X物镜BD Plan Apo

日本三丰Mitutoyo 378-829-5物镜LCD Plan Apo NIR 100X

日本三丰Mitutoyo 378-828-5物镜LCD Plan Apo NIR 50X

日本三丰Mitutoyo 378-827-5物镜LCD Plan Apo NIR 20X

日本三丰Mitutoyo 378-826-5物镜M Plan Apo NIR 100X

日本三丰Mitutoyo 378-824-5 20X物镜M Plan Apo NIR

日本三丰Mitutoyo 378-823-5 10X物镜M Plan Apo NIR

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