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AS-One systems 快速退火炉
- 型号
- AS-One systems
- 参数
- 产地类别:进口
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半导体仪器和电子产品耗材耗材
FIRSTNANO成立于2012年，一家由三位材料学博士共同创办的德国公司。基于 “Science is international”的想法，“全球协同实验室”成为三位博士追逐的梦想。
公司愿景是从科学家到科学家，科学开创美好未来。
FIRSTNANO深耕于半导体技术、材料科学、生命科学等科研领域，始终秉承“前沿、专业、科学”的宗旨，将前沿技术引进到协同实验室。我们的产品覆盖了微纳加工制程；材料科学的检测、分析；生命科学成像，脑科学与行为认知等相关领域。作为全球科技前沿的仪器供应商，FIRSTNANO具有全球技术视野、优质供应体系、以及严格的质量管控系统，能为客户提供前沿的技术解决方案。
公司服务的客户领域广泛，其中包括消费电子、航空、航天、医药技术、半导体行业、光电子行业、高校和研究机构。
在成长的过程中，我们脚踏实地、奋勇向前。自2015年香港（中华区）公司成立以来，我们一相继在香港、深圳、上海和武汉设立了分支机构。
我们真诚邀请业内英才加入FIRSTNANO TEAM，一起为梦想扬帆起航！
详细信息
AS-One系统有两种型号： AS-One 100 系统或AS-One 150 系统
该快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的，高可靠且性价比高。
该工艺室采用贝壳式设计，可*进入底板，方便装载和卸载基板，并允许实际清洁腔体
快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。
| 特征： | |
| 基本尺寸： | Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
| 工艺腔体 | 运用不锈钢冷腔室壁技术 |
| 温度范围 | 标准配置：高达到1250°C 高温配置：高达到1450°C |
| 温度控制 | 标准配置：热电偶和高温计用来测量温度 快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制 |
| 真空和气体 | 多可达5路带MFC的工艺气体，一路清洁气体 |
| 电脑控制 | 全PC电脑控制，每个配方多100步骤 全数据记录与处理历史的人机界面设计 |
| 选项： | |
石墨托盘/碳化硅涂层托盘/粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系统/其他套件
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| 应用 | |
我公司专业销售Annealsys产品，并提供Annealsys产品的售前售后服务，如您对Annealsys产品感兴趣，欢迎前来咨询！
