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KDK-KDY-4 四探针电阻率测试仪 四探针电阻率检测仪 四探针电阻率仪KDK-KDY-4
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四探针电阻率测试仪 四探针电阻率检测仪 四探针电阻率仪 型号:KDK-KDY-4
KDK-KDY-4型四探针电阻率测试仪严格按照硅片电阻率测量的际标准(ASTM F84)及家标准制,并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改。整套仪器有如下点:
1、配有双数字表:块数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另块数字表适时监测过程中的电变化,使操作更简便,测量更。
数字电压表量程:0—199.9mV 灵敏度:100μV 输入阻抗:1000ΜΩ
基本误差±(0.4-0.5%读数+0.1%满度)
2、可测电阻率范围:10—3 —1.9×103Ω·cm。
可测方块电阻范围:10—2 —1.9×104Ω/□。
3、设有电压表自动复零能,当四探针头1、4探针间未有测量电过时,电压表零,只有1、4探针接触到硅片,测量电渡过单晶时,电压表才示2、3探针间的电压(即电阻率)值,避免空间杂散电波对测量的干扰。
4、经硅片的测量电由度稳定(分之五度)的制恒源提供,不受气候条件的影响,整机测量度<3%。
电量程分五档:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、仪器采用触点电阻更低(<5mΩ)、使用寿命更长的转换开头及继电器(>10次),在缘电阻、电容量方面留有更大的安系数,提了测试仪的可靠性和使用寿命。
6、四探针头采用际上的红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性提
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