参考价：
5万-10万
起订量：
Colibri 大气压等离子表面处理仪
- 型号
- Colibri
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半导体化工领域专业实验设备供应商：迈可诺是一家富有创新精神的高科技公司，专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商，迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务，帮助我们的客户和合作伙伴取得成功。我们成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定，尊重他们的决定，并协助他们实现高效率的科研成果，追求丰富有意义的生活。
详细信息
工作原理
Colibrì系统*由微控制器控制。 利用该系统，可以简单地通过执行可由用户编辑的9个配方中的一个来执行处理。 使用高精度针阀，将受控的气流引入处理室。 将低频信号（50kHz）施加到腔室内的电极，这与气体分子相互作用从而触发等离子体。 产生的等离子体提供与待处理基板表面的*单层相互作用的反应离子物质。 通过对工艺参数（气体流量，信号强度，持续时间......）进行处理，可以改变生成的过程。
产品功能
▪台式等离子系统，简单通用
▪多可处理十种不同的可编辑配方
▪*结果的*性
▪长期可靠性
▪使用主要品牌组件
技术规格
尺寸 宽 x 长 x 高 450 x 370 x 180 mm
净重16 Kg （不含真空泵）
净空右，左，前 - 600mm，后 - 300mm
