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TP-TPY-1 椭圆偏振测厚仪型号:TP-TPY-1
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椭圆偏振测厚仪型号:TP-TPY-1
在近代的许多域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此,更加和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际作中可以利用各种传统的方法测定光学参数,如:布儒斯角法测介质膜的折射率,干涉法测膜厚,其它测膜厚的方法还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。由于椭圆偏振法具有灵敏度、度、非破坏性测量等优点,因而,椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、学等诸多域得到广泛应用。
椭圆偏振测厚仪型号:TP-TPY-1
产品点:
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有度、灵敏度以及方便测量等点;
光源采用氦氖激光器,率稳定、波长度;
仪器配有生成表、查表以及计算等软件,方便用户使用。
规格与主要标:
测量范围:薄膜厚度范围:1nm-300nm; 折射率范围:1-10
测量小示值:≤1nm 入射光波长:632.8nm
光学中心:80mm 允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器方位角范围:0°- 180°读取分辨率为0.05°
测量膜厚和折射率重复性度分别为:±1nm和±0.01
主机重量:25kg 入射角连续调节范围:20°- 90°度为0.05°
成套性:主机、电控系统、计算软件
外形尺寸:680*390*320mm