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电子探针X射线显微分析仪
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北京中科光析化工技术研究所，成立于1982年。2012年改制为：科研测试为主型化工技术研究所，经国家科委和北京市人民政府批准，总投资5000余万元，目前已成为国内大型的分析测试技术服务机构，具备*认可的科研成果及人才储备资格，北京市正规研究单位，承担*化学化工行业分析测试资源共享服务平台建设项目，得到国家创新基金的支持，是北京市航空航天研发中心、空间研究中心、航材院等*测试单位。中化所是国内第三方检测机构。中科化工技术研究所是专业从事高分子材料改性研发、配方分析设计、材料成分分析的技术平台。与多家科研单位建立战略合作伙伴关系，拥有材料、化学等相关领域的检测、分析仪器设备以及经验丰富的高水平专业人才队伍。中心拥有多台（套）大型分析测试仪器和经验丰富的分析测试人员，为全国的科研院所和工厂企业的科研开发和技术创新提供了有力的技术支撑，在测试行业内享有良好的声誉。
详细信息
仪器简介：电子探针X射线显微分析仪不仅有较高的X射线检出角，同时由于使用全聚焦的X射线分光晶体，能兼顾X射线检测的高灵敏度和高分辨率，并配有高稳定的电子光学系统，真空系统及高精度机械系统以及牛津X-射线电制冷能谱仪，是目前*的微区成分定量分析和形貌观察的大型科研仪器之一。
仪器主要特点及技术指标：
l分析元素范围： 4Be～94Pu
l电子束流稳定性：好于1.5×10-3/H
l二次电子像分辨率：6nm
l加速电压：0~30kV
lX射线检出角：52.5°
l放大倍数：50×～300,000×
l分析速度：自动全元素定性分析时间≤60s
l大样品尺寸：100mm´100mm´50mm
l样品台小移动间距为0.01微米，机械系统精密度高
l可观察二次电子像（SEI)，背散射电子像(BEI)，吸收电子像，光学显微像，X射线面分布像等。兼顾微区成分定量分析和形貌观察
仪器主要功能及其用途：
l非破坏分析（分析时，被分析样品不会损坏，可以实现同点重复分析）
l微米尺度的空间分辨分析
l轻元素的定量分析
l元素的面分布分析
l痕量元素的成分分析
l精细结构分析
电子探针X射线显微分析仪适用于材料(陶瓷，合金，半导体材料等）以及矿物、岩石等固体材料的微区化学组成定性和定量分析，微区化学组成线分析，微区化学组成面分析以及材料、矿物和岩石等的微区形貌观察、成分分布图像等，是对试样微区组织结构，表面形貌观察及元素定量分析的有效手段。
