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IBEX-300 晶圆超快三维磁场探针台
- 型号
- IBEX-300
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我们是谁
美国Quantum Design公司是科学仪器制造商，其研发生产的系列磁学测量系统及综合物性测量系统已成为业内进的测量平台，广泛分布于全球材料、物理、化学、纳米等研究域的科研实验室。Quantum量子科学仪器贸易（北京）有限公司(暨Quantum Design中国子公司) 成立于2004年，是美国Quantum Design公司设立的诸多子公司之，在全权负责美国Quantum Design公司本部产品在中国的销售及售后技术支持的同时，还致力于和范围内物理、化学、生物域的科学仪器制造商进行密切合作，帮助中国市场引进更多全球范围内的质设备和技术，助力中国科学家的项目研究和发展。
我们的理念
Quantum Design中国的长期目标是成为中国与进行进技术、进仪器交流的重要桥头堡。助力中国科技发展的十几年中，Quantum Design中国时刻保持着积进取、不忘初心、精益求精的态度，为中国科学家提供更质的科学和技术支持。随着中国科学在舞台变得愈加举足轻重，Quantum Design中国将继续秉承“For Scientist, By Scientist”的理念，助力中国科技蓬勃发展，助力中国科技在腾飞！
我们的团队
Quantum Design中国拥有支具备强大技术背景、职业化工作作风的团队，并致力于培养并引进更多博士业技术人才。目前公司业务团队高学历业硕博人才已占比超过70%以上，高水平人才的不断加入和日益密切的团队配合帮助QD中国实现连续几年销售业绩的持续增长
我们的服务
Quantum Design中国拥有完善的本地化售前、售中和售后服务体系。国内本地设有价值超过50万美元的备件库，用于加速售后服务响应速度；同时设有超过300万美元的样机实验室，支持客户对设备进行进步体验和深度了解。 “不仅提供超的产品，还提供超的售后服务”这将是Quantum Design中国区别于其他科研仪器供应商的重要征，也正成为越来越多科学工作者选择Quantum Design中国的重要原因。
详细信息
IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台
法国Hprobe公司于2017年3月在法国格勒诺布尔地区成立，旨在为集成电路域提供快速、准确和灵活的测试设备，主要应用方向为磁随机存取存储器(MRAM)。MRAM技术作为芯片上系统嵌入式内存(SoC)的替代技术，越来越多的微电子行业的主要厂商对MRAM技术感兴趣，相应的测试设备需求也随之增加，而Hprobe公司生产的IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台为个不错的选择。
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| Hprobe IBEX 300-1C | Hprobe IBEX 300-2C |
相比于其他的探针台， IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台是门用于晶圆片在磁场作用下的表征和测试的仪器，它使用*的三维磁场发生器和可定制硬件，为磁性器件（传感器和存储器）的开发、工艺和生产带来了完整的测试解决方案。
主要点：
| ■ 可以用于100~300mm晶圆 ■ 提供大的面内和垂直磁场 ■ 磁场定向和旋转的三维控制 ■ 快速扫描能力 | ■ 嵌入式传感器校准 ■ 自动测试程序 ■ MRAM和传感器参数提取软件 ■ 与标准探针卡兼容 |
主要应用方向：
■ 磁性隧道结
■ 磁随机存取存储器
■ 集成磁传感器(Hall, GMR, TMR)
■ 智能传感器
技术原理：
探针台采用*的三维磁场发生器，每个磁场空间轴立驱动。用这3个自由度，用户可以在任意空间方向应用和控制场，也可以生成旋转场。三维磁场装置配备了所有相关配件，测试程序和磁铁校准工具包。 三维磁发生器置于探针台顶部，并在晶圆上产生局部磁场。为了适应器件测试设计，探头被放置在晶圆片和发生器之间的间隙中。磁场发生器和晶圆托之间的Z方向距离般可在500μm至5mm之间可调，取决于所使用的探针卡和探针。 |
三维磁场装置 |
相关参数：
| 面内 (XY) | 垂直 (Z) | |
| 大单轴磁场 | 350 mT | 550 mT |
| 磁场均匀性@ +/1mm | ± 1% | ± 1% |
| 磁场分辨率 | 0.05 mT | 0.02 mT |
| 角度分辨率 | 0,02° | - |
| 场扫描采样率 | < 50 kHz | < 50 kHz |
| R-H 回线测试时间 | < 100 ms | < 100 ms |
快速扫场能力
仪器配置：
Hprobe探针台配备整套仪器驱动和测量大多数磁性器件，如MRAM (STT、SOT、电压控制)、传感器(AMR、GMR、TMR)和磁性MEMS。仪器可以包括源表和测量单元（SMU）、数字万用表（DMM）、任意波形发生器（AWG）、脉冲发生器（PG）、交换矩阵、数据采集板等。其他仪器可根据要求提供，并且可以很容易地集成到工具的硬件和软件中。
| 任意波形发生器（AWG） ■ 双通道, 带宽 40MHz ■ 正弦波, 方波 & 脉冲 至30MHz ■ 斜波 & 三角波 至 200kHz ■ 任意波形 < 1M 采样/通道 ■ 大采样速率 250M 采样/秒 |  | 脉冲发生器（PG） ■ 脉冲宽度小至 200 ps ■ 上升/下降时间< 70 ps (20%-80%) ■ 输出电压 10 mVpp 至 5 Vpp ■ 大重复频率 500 MHz 每通道l ■ 幅值 大至 5V |
| 源表和测量单元（SMU） ■ 电压小量程 20mV ■ 电流小量程 1nA ■ > 3,000 读数 /秒 | 数字万用表（DMM） ■ 18 位, 小量程 100mV ■ 分辨率 10nV ■ 小积分时间 10µ秒 |
探针卡
Hprobe探针台使用非常灵活，用户可以使用标准的商用探针卡，也可以使用带有DC和RF探头的微操作器。
测试程序
该测试程序包含了所有满足用户需求的功能，从器件表征到产品开发，以及转移至生产等。它以三种模式运行:
| ■ 标定模式–设置磁场配置并创建用户定义的图形 ■ 工程模式 –运行预执行的测试图形或创建并运行完整的自定义性和测试 ■ 产品模式 –从工程模式中设置具有化测试时间的测试程序 |  |
预实现的测试模式包括(有或没有磁场):
| ■ 开路/短路 测试 ■ AC/DC I-V, R-V 测试 ■ AC/DC 击穿电压测试 ■ 读/写脉冲测试 ■ R-H 角度/幅值 回线测试 ■ 误码率测试 ■ 器件循环和稳定性测试 |  |
