赛默飞已设计生产了特定大小的微粒用来校准用于半导体工业的扫描表面监测系统(SISS)。

通过与仪器生产商合作，研发生产出Surf-Cal微粒尺寸标准品(干)系列产品以满足SEMI 标准规则要求。可提供的微粒尺寸包括半导体技术蓝图 (ITRS)¹定义的关键的尺寸节点的大小。

使用赛默飞Surf-Cal微粒尺寸标准品(干)，粒度标准简化校准晶片的制备，用于扫描表面检测系统（SSIS）的校准和维护。可用的粒径对应于仪器制造商要求的校准点尺寸。

特点：

• Surf-Cal标准品可用来简化您工厂内校准晶片的准备工作。可提供的微粒尺寸与仪器生产商要求的校准点大小*。
• 将 Surf-Cal 系列 NIST 溯源的聚苯乙烯微粒置于特别选定的晶片上，您就可以执行定期校准检查，并可将您的扫描仪与其他地方的扫描仪进行对比。
• 您也可以在生产过程中的关键阶段对SSIS 系统进行性能评估。
• 这一系列标准品悬浮于去离子过滤水中，以终浓度3×10 ^8个微粒/ mL、50ml瓶装的规格包装。PD1100 系列产品以及更小的微粒也提供浓度为10 ¹⁰微粒/mL 的规格，主要用于微分迁移率分析仪（DMA）或其它尺寸排除技术辅助的领域。

测量方法：

为了确保能直接溯源至NIST，这些产品获得认证的直径是通过投射电子显微镜，或光学显微镜由NIST标准参考物质²转移而得的。不确定度是根据NIST技术注释1297, 1994版―评估与表达NIST测定结果不确定度的导则³计算而得。认证证书中标明的不确定度值是采用覆盖因子2(K=2)扩展后的不确定度。

峰值直径是采用微粒尺寸分布±2s的范围计算而得。计算的尺寸分布作为峰值的标准偏移图。变异系数是指一个标准差与峰值直径的百分比。FWHM分布是半峰值高的分布占据峰值直径的百分比计算而得的。

1. ―半导体技术蓝图 (ITRS)‖, 半导体工业协会 (1999)

2. S.D. Duke 与 E.B. Layendecker, ―采用电子显微镜进行亚微球粒子的尺寸校准的标准方法‖, 精密粒子协会 (1988)

3. Barry N. Taylor 与Chris E. Kuyatt, ―评估与表达NIST测定结果不确定度的导则‖.NIST 技术注释 1297, 1994 版, 9月，1994.

技术参数

成分：聚苯乙烯

密度：1.05g/cm3

折射指数：1.59@589nm(25°C)

添加剂：无