MSA-100-3D显微式测振仪可在大带宽范围内实时测量样本的动态特性，高分辨率同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级。 

因激光光斑极小，所以横向分辨率*，且带宽高达25 MHz，是用于微机电传感器（MEMS）以及其他微结构振动测量的理想设备。通过软件移动样品，完成样品整个表面的振动分析，然后以图形方式显示振型。

MSA-100-3D显微式测振仪专为具有高横向分辨率的3D振动分析而设计。它特别适用于微系统，精密机械零件以及数据存储行业中HGA和次级执行器动力学的研究。 

该仪器基于一种新颖的3D振动计设置，可实现平面外和平面内运动的pm分辨率。它的频率带宽为25 MHz。集成的XY横向平台具有完整的软件支持，可实现高精度样品移动，从而实现扫描测量，以获得3D偏转形状。 

可选的集成XY定位台与精密软件一起使探头易于操作。

•高达25 MHz的高带宽实时测量
•平面外和平面内运动的亚pm位移分辨率
•单点和全场扫描测量
•高点小光斑<4μm横向分辨率
•38 mm的大间隔距离
•探针台兼容