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磁控溅射
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空机械加工厂，有数控车床，数控剪板机，数控折弯机，氩弧焊机，其它如超高真空检漏仪、超声波清洗机等
沈阳美济真空科技有限公司是从事真空镀膜技术的高科技公司。
本公司专注于真空产品设计制造、薄膜技术、真空电子产品的设计制造、自动控制系统及智能控制软件的研发。
公司拥有真空机械加工厂，有数控车床，数控剪板机，数控折弯机，氩弧焊机，其它如超高真空检漏仪、超声波清洗机等，研发制造的真空产品能够满足客户要求。
公司设计工程师*以来一直专注于高真空、超高真空领域的研究，成熟产品诸如磁控溅射镀膜设备、蒸发镀膜设备、有机小分子发光显示（OLED）、分子束外延设备（MBE）、离子镀膜设备、真空热压炉、真空退火炉，真空室真空度可达3×10-8Pa，真空炉温度可达1700摄氏度。
详细信息
1、基片尺寸：≥110×110mm，基片加挡板。
2、基片台：基片台旋转，转速0-25rpm连续可调，光控定位；
衬底加热：磁控溅射采用真空加热器，室温～1500℃可调可控；
反溅清洗；磁控溅射采用射频电源对基片表面进行“清洗/活化”；
3、基片架转速0～25转/分，可控可调。
4、基片架可加热、可旋转、可升降。
5、靶面到基片距离60～90mm可调。
6、Ф3英寸圆形平面磁控溅射永磁靶；可镀铁磁材料的磁控溅射靶1支，可镀普通靶材的磁控溅射靶1支；靶材尺寸Ф3英寸。
7、镀膜室极限真空：≤5×10-5Pa，抽至 10-4Pa≤20min；。
8、速率和膜厚监控：石英晶振膜厚仪，在线监测蒸发速率，监控膜厚；厚度监测范围：1Å～99999Å，分辨率1Å；速率监测范围：0.1Å～99.9Å /s，分辨率0.1Å；
